半导体器件测试系统脉冲电流校准装置及校准方法研究

本文对半导体器件测试系统的组成和工作原理进行了简单介绍,并对其脉冲电流校准的难点进行了分析。根据脉冲电流测试的工作原理,用9230A系列精密电流分流器和34411A型数字多用表组建了校准装置。通过9230A系列精密电流分流器将脉冲电流转化为脉冲电压,在34411A型数字多用表的直流电压测量功能下,用其内部电平触发功能,实现脉冲电压的精确测量,解决了半导体器件测试系统脉冲电流校准的难题。研究和实践表明,本校准装置简单可靠、方便实用、满足脉冲电流量值传递要求。