碲镉汞红外探测器的分步式阳极氧化新方法研究

采用小电流腐蚀、脉冲电流钝化、恒压退火的分步式阳极氧化钝化新方法对碲镉汞红外探测器进行表面钝化，利用扫描电镜(SEM)、俄歇电子能谱(AES)对传统恒流方法和新方法生成的两种阳极氧化膜进行测试比较。结果表明，新方法生长的阳极氧化膜的质量得到了明显改善。并对新方法工艺条件进行了研究，获得了能提高成膜质量的工艺参数条件。