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一种基于脉冲红外光源和折叠光路的微小型红外光谱仪 被引量:5
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作者 杜晓晴 温志渝 +3 位作者 向贤毅 龙再川 刘海涛 陈勤 《光谱学与光谱分析》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2007年第3期619-622,共4页
设计了一种不同于传统光栅扫描型光谱仪的新型微小型红外光谱仪。该光谱仪采用灵敏度高且体积小巧的非致冷红外探测器LiTaO3,在光路上直接采用MEMS脉冲红外光源,从而去掉了传统机械斩波器,并通过折叠光路进一步减小光谱仪体积。初步... 设计了一种不同于传统光栅扫描型光谱仪的新型微小型红外光谱仪。该光谱仪采用灵敏度高且体积小巧的非致冷红外探测器LiTaO3,在光路上直接采用MEMS脉冲红外光源,从而去掉了传统机械斩波器,并通过折叠光路进一步减小光谱仪体积。初步结果显示,所设计的微小型红外光谱仪的方法是可行的,工作波段2000-5000m,光谱带宽45nm,可用来分析塑料薄膜、生物液体以及环境大气在内的样品。 展开更多
关键词 红外光谱仪 微系统 微电子机械加工 脉冲红外光源 折叠
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