集成式三相流脉动微混合芯片

为适用于较复杂的混合体系和实现芯片的集成化,基于压电驱动技术提出一种集成式三相流脉动微混合芯片。以混合度作为微混合效果的评定指标,对其进行仿真优化分析,优选出微混合芯片的结构参数与工作参数。利用注模法与键合工艺制作出尺寸为100 mm×50mm×5mm的微混合芯片。利用银纳米粒子的液相合成对该芯片的混合性能进行实验验证。结果表明:当微混合芯片的混合流道宽度为0.4mm、入口流道夹角为120°、频率为200Hz、入口流量为3.5mL/min时,利用该芯片可控合成了粒径约29nm、产率较高、单分散性较好的银纳米粒子,证明该芯片具有良好的混合性能。