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腔体微扰法测厚度的分辨率和误差 被引量：1
1
作者 吕文选 《厦门大学学报（自然科学版）》 CAS CSCD 北大核心 1989年第1期39-43,共5页
讨论了用微波腔体微扰方法测厚度的分辨率.计算及实验均表明,腔体微扰方法测量厚度具有高的分辨率(0.2μm),文中分析了整机产生误差的主要原因和减小误差的方法,指出扫频源的非线性对精度和稳定性的影响。
关键词 腔体微扰 厚度 误差 分辨率
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微波腔传感器在工农业生产中的应用
2
作者 钟茂声 《传感器世界》 1995年第4期25-30,共6页
本文主要介绍微波腔体传感器用于工农业生产过程中对物质的湿度、温度、厚度和材料的电磁参数测量的基本原理,综述半个世纪以来,微波测量湿度、温度、厚度以及材料电磁特性等的应用概况.
关键词 微波谐振腔 介电常数 腔体微扰 谐振频偏 传感器
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