SR-FEL宽带腔镜与双带腔镜光学膜系实验研究与研制

利用“电子束蒸发沉积薄膜生长技术+离子束溅射沉积薄膜生长技术”、“HfO2／SiO2+Al2O3／SiO2+M-SiO2”复合光学膜系设计技术、400℃×4h高温处理技术,研制的SR-FEL宽带腔镜光学膜系在355nm中心波长的绝对光学反射率测量值为R(355nm)=99．45％,反射光谱带宽测量值为Δλ(R≥99．00％)=75nm;研制的355nm／248nm双带腔镜光学膜系,在355nm中心波长,其绝对光学反射率测量值为R(355nm)=99．69％,反射光谱带宽测量值为Δλ(R≥99．00％)=59nm;在248nm中心波长, R(248nm)=98．21％,绝对光学反射率光谱带宽测量值Δλ(R≥99．00)=9mm,Δλ(R≥98．00％)=33nm．