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高功率脉冲磁控溅射沉积(AlCrNbSiTiV)N薄膜提升刀具的切削性能
被引量:
3
1
作者
刘志伟
何靖国
+1 位作者
林宇璇
张良超
《电镀与涂饰》
CAS
CSCD
北大核心
2019年第13期674-679,共6页
通过高功率脉冲反应磁控溅(HIPIMS)在车刀表面溅镀(AlCrNbSiTiV)N高熵合金氮化物薄膜。研究了溅镀功率(120、150、180、210和240W)对薄膜的形貌、厚度、沉积速率、硬度、弹性恢复率等性质的影响。以50CrMo4铬钼合金钢作为被切削材料,在...
通过高功率脉冲反应磁控溅(HIPIMS)在车刀表面溅镀(AlCrNbSiTiV)N高熵合金氮化物薄膜。研究了溅镀功率(120、150、180、210和240W)对薄膜的形貌、厚度、沉积速率、硬度、弹性恢复率等性质的影响。以50CrMo4铬钼合金钢作为被切削材料,在干式切削条件下考察了切削后工件的表面粗糙度和车刀的腹部磨耗。结果表明,增大溅镀功率可以提高薄膜的硬度和耐磨性,被切削工件的表面质量得到明显的改善,刀具磨损量大大减小。
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关键词
铝铬铌硅钛钒
高熵合金
氮化物
高功率脉冲反应磁控溅射
纳米压痕
腹部磨耗
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职称材料
题名
高功率脉冲磁控溅射沉积(AlCrNbSiTiV)N薄膜提升刀具的切削性能
被引量:
3
1
作者
刘志伟
何靖国
林宇璇
张良超
机构
东莞职业技术学院机电工程学院
龙华科技大学机械工程系
出处
《电镀与涂饰》
CAS
CSCD
北大核心
2019年第13期674-679,共6页
基金
广东省教育厅2017年度项目(教育科研重大项目)(2017GGXJK097)
文摘
通过高功率脉冲反应磁控溅(HIPIMS)在车刀表面溅镀(AlCrNbSiTiV)N高熵合金氮化物薄膜。研究了溅镀功率(120、150、180、210和240W)对薄膜的形貌、厚度、沉积速率、硬度、弹性恢复率等性质的影响。以50CrMo4铬钼合金钢作为被切削材料,在干式切削条件下考察了切削后工件的表面粗糙度和车刀的腹部磨耗。结果表明,增大溅镀功率可以提高薄膜的硬度和耐磨性,被切削工件的表面质量得到明显的改善,刀具磨损量大大减小。
关键词
铝铬铌硅钛钒
高熵合金
氮化物
高功率脉冲反应磁控溅射
纳米压痕
腹部磨耗
Keywords
aluminum–chromium–niobium–silicon–titanium–vanadium
high-entropy alloy
nitride
high-power impulse reactive magnetron sputtering
nanoindentation
flank wear
分类号
TQ153.17 [化学工程—电化学工业]
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题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
高功率脉冲磁控溅射沉积(AlCrNbSiTiV)N薄膜提升刀具的切削性能
刘志伟
何靖国
林宇璇
张良超
《电镀与涂饰》
CAS
CSCD
北大核心
2019
3
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