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提高CVD金刚石薄膜刀具膜—基附着力的工艺方法评述 被引量：5
1
作者 满卫东 汪建华 《工具技术》 北大核心 2001年第9期3-8,共6页
提高金刚石薄膜与硬质合金基底之间的附着力是CVD金刚石薄膜刀具得以推广应用的关键因素。本文介绍了国内外采用CVD法制备金刚石薄膜刀具时提高膜—基附着力的典型工艺方法 ,评述了WC
关键词 刀具 金刚石薄膜 膜一基附着力 化学气相沉积 CVD
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