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铟镓锌氧化物薄膜晶体管制备及性能研究 被引量:2
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作者 王海宏 焦峰 +5 位作者 马群刚 杨旭 毛荷英 姚礼 李广录 黄雪峰 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第4期397-401,共5页
为了实现高质量刻蚀阻挡型InGaZnO薄膜晶体管(IGZOTFT)器件,研究了IGZO TFT关键制备工艺,其中重点探讨了IGZO成膜氧分压、退火工艺、IGZO成膜均一性对于IGZO TFT电学特性的影响。通过优化成膜和退火工艺在G6玻璃基板上制作的IGZOTFT器件... 为了实现高质量刻蚀阻挡型InGaZnO薄膜晶体管(IGZOTFT)器件,研究了IGZO TFT关键制备工艺,其中重点探讨了IGZO成膜氧分压、退火工艺、IGZO成膜均一性对于IGZO TFT电学特性的影响。通过优化成膜和退火工艺在G6玻璃基板上制作的IGZOTFT器件,阈值电压0.72 V,亚阈值摆幅0.2 V/dec,迁移率9.57 cm^2/V·s,Ion/Ioff>10~8,IGZO TFT大基板阈值电压均一性最大偏差小于2 V。最后进行了IGZO TFT长期稳定性测试以及正负偏压应力测试,结果表明IGZO TFT器件经过长时间空气暴露会导致特性劣化,负向偏压应力劣化较为明显。所制备的刻蚀阻挡型IGZO TFT器件可以满足高质量液晶显示的要求。 展开更多
关键词 铟镓锌氧化物半导体 氧分压 退火 膜厚均一性
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浅析B2层色漆典雅黑车身外板一站喷涂成膜
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作者 李明 邓俊杰 +2 位作者 郭江华 杨磊 文志伟 《中国设备工程》 2021年第17期7-8,共2页
本文主要针对典雅黑水性色漆材料特性,围绕静电喷涂工艺对涂料成膜外观商品性的影响,探究B2层色漆典雅黑由车身外板两站喷涂成膜工艺优化成一站喷涂成膜可行性分析与应用,实现材料、溶剂耗量最优化,为同行在喷涂工艺上实现降本增效提供... 本文主要针对典雅黑水性色漆材料特性,围绕静电喷涂工艺对涂料成膜外观商品性的影响,探究B2层色漆典雅黑由车身外板两站喷涂成膜工艺优化成一站喷涂成膜可行性分析与应用,实现材料、溶剂耗量最优化,为同行在喷涂工艺上实现降本增效提供思路。 展开更多
关键词 典雅黑水色漆 外板一站成 膜厚均一性 外观商品
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浅谈3C2B工艺调试转量产过程的外观优化
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作者 于超 李明哲 郭家 《上海涂料》 CAS 2022年第2期36-39,共4页
某基地3C2B工艺的车型在由小批量调试逐步转为量产的过程中,为确保生产节拍,取消了中涂后的整体立面打磨工艺,并通过降低白车身粗糙度和白车身带屑量、降低电泳粗糙度及打磨点、适当提高闪干脱水率、调整中面漆的升温速率、细化喷涂轨... 某基地3C2B工艺的车型在由小批量调试逐步转为量产的过程中,为确保生产节拍,取消了中涂后的整体立面打磨工艺,并通过降低白车身粗糙度和白车身带屑量、降低电泳粗糙度及打磨点、适当提高闪干脱水率、调整中面漆的升温速率、细化喷涂轨迹、优化中涂和清漆的膜厚均一性等措施,进行了外观优化。 展开更多
关键词 粗糙度 脱水率 升温速率 喷涂轨迹 膜厚均一性 涂装工艺
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