基于反射测定法的SOI膜厚检测系统

研制可用于膜厚检测的系统,获取薄膜反射光谱,基于多层膜反射率模型和非线性回归算法得到厚度分布图。对SOI材料的反射光谱进行测试及分析,结果表明,对于厚度为30μm的顶层硅,其静态重复性为±0.01nm,动态重复性为±1.30nm;对于厚度为2μm的氧化层,其静态重复性为±0.02nm,动态重复性为±1.60nm。该技术还适用于其他集成电路制造工艺中不同材质的膜厚检测。

基于近红外技术的流体机械密封膜厚检测方法研究

流体机械密封膜厚的检测受到封膜波束扰动因素影响,导致检测的精度不好,为了提高膜厚检测能力,提出一种基于近红外技术的流体机械密封膜厚检测方法。构建流体机械密封膜厚检测的近红外传感信号模型,采用群延迟空间波束集成方法进行流体机械密封膜厚的红外信号波形聚能处理,提取近红外传感信号的统计特征量,采用自相关匹配检测方法进行流体机械密封膜厚探测信号的滤波处理,对输出信号采用多维小波尺度分解方法进行近红外传感信号的尺度分解,根据尺度的指向性特征进行流体机械密封膜厚参数估计,实现流体机械密封膜厚检测。仿真结果表明,采用该方法进行流体机械密封膜厚检测的精度较高,耗时较短,具有实用性。

机械密封端面液膜厚度状态检测技术研究

利用电涡流技术和声发射技术对静压型机械密封的端面膜厚分别进行直接和间接测量,研究机械密封在不同转速和压力下的膜厚变化规律,并通过先进信号分析和人工智能,研究密封在不同膜厚区间的声发射特征,建立基于人工神经网络的机械密封端面的状态识别模型,以实现对密封流体膜厚的区间估计。研究结果表明:机械密封工作时压力主要影响膜厚的变化区间,而转速主要影响膜厚的瞬时波动;构造的基于BP神经网络的联级决策模型,对于密封膜厚的平均识别率达到了85%,从而实现了机械密封端面膜厚从有损检测到无损检测的转变。

膜厚自动检测设备在“2010工艺”中的应用

介绍了膜厚自动检测设备的测量原理、膜厚标定和电泳膜厚补偿,及其在大众集团"2010工艺"中的应用。