一种提高极值法监控精度的方法

提出了一种提高极值法监控薄膜淀积层厚精度的方法。该监控方法通过改变各层膜的反射率极值过正量而将被镀膜层精确地停镀于其膜厚的设计值。这一方法既可提高淀积规整膜系时的层厚监控精度 ,也可提高淀积非规整膜系时的层厚监控精度。

不规则平面边界约束喷涂涂层均匀性调控方法

针对不规则平面边界约束喷涂的涂膜均匀性优化问题,提出基于膜厚精度要求的边界约束喷涂涂层均匀性调控方法。基于考虑喷枪喷涂高度和倾角为变量的静态喷涂模型,采用积分法建立喷枪沿圆弧轨迹动态喷涂的涂膜厚度分布模型,并进一步建立相邻两圆弧喷涂轨迹间涂层均匀性的优化模型;通过对不同曲率半径搭配喷涂轨迹间的涂层均匀性进行优化求解,获得相邻轨迹曲率半径搭配对膜厚误差的影响规律,并进一步给出满足膜厚精度要求的喷涂轨迹曲率半径调控与生成算法,实现涂层均匀性的调控。最后以某种不规则平面工件喷涂为例,通过实验验证所提方法的有效性和可行性。结果表明:与边界约束喷涂调控前相比,所提方法的膜厚标准差提升了13.5%,可适应膜厚精度要求;且与无边界约束的喷涂方法相比,喷涂时间减少了32.0%。

制备超薄多层膜的自动转速控厚法

在转速控厚法的基础上 ,排除了射频溅射的电磁干扰 ,实现了自动转速控厚法。用这种方法镀制超薄多层膜时 ,可以实时记录下镀制每层膜的沉积时间、自动切换转速、完成设定周期后自动停止转动。自动转速控厚法与转速控厚法相比 ,明显降低了多层膜制备的劳动强度 ,提高了多层膜制备的成品率和监控精度。而且将在镀制复杂膜系多层膜时 。

中波红外3μm～5μm宽带通滤光片的研制

中波红外宽带通滤光膜通常膜系层数多,膜层总厚度非常大(厚度达到10μm左右),膜层的镀制工艺难度较大。通过分析红外带通滤光片几种设计方法的特点,并结合实际镀制工艺技术,采用了长波通与短波通及非规整薄膜设计技术相结合的方法,设计了以锗材料为基底的中波3μm～5μm宽带通滤光膜。该设计大幅度降低了膜层的总厚度(约为8.65μm),缩短了膜层的镀制周期,提高了膜层的牢固度;在膜层的镀制工艺过程中,通过改变薄膜材料的蒸发速率、修正蒸发硫化锌材料时电子枪的扫描方式、调整蒸发材料在坩埚中的装载方法,使膜层获得了优异的光谱性能,其通带平均透过率大于96%,截止区域的平均透过率小于1%。