使用FEPG(F in ite E lem ent Program Generator)软件编程,对维氏压头的微硬度实验进行模拟,建立了一种针对膜基体系有限元计算的新模型,该模型考虑了边界摩擦和实时跟踪接触因素,在对S i片和TiN单层膜压痕的模拟分析后,得出“载荷-压...使用FEPG(F in ite E lem ent Program Generator)软件编程,对维氏压头的微硬度实验进行模拟,建立了一种针对膜基体系有限元计算的新模型,该模型考虑了边界摩擦和实时跟踪接触因素,在对S i片和TiN单层膜压痕的模拟分析后,得出“载荷-压痕对角线关系曲线”,与其它文献中的实验结果相吻合。说明模型是合理的,结果是可靠的,对实际应用具有指导意义,并为理论分析提供了研究方法。展开更多
文摘使用FEPG(F in ite E lem ent Program Generator)软件编程,对维氏压头的微硬度实验进行模拟,建立了一种针对膜基体系有限元计算的新模型,该模型考虑了边界摩擦和实时跟踪接触因素,在对S i片和TiN单层膜压痕的模拟分析后,得出“载荷-压痕对角线关系曲线”,与其它文献中的实验结果相吻合。说明模型是合理的,结果是可靠的,对实际应用具有指导意义,并为理论分析提供了研究方法。