退火温度对Nd_2Fe_(14)B/α-Fe磁性多层膜中相形成的影响

通过TEM和HRTEM对比研究了软磁层厚度为2.5 um的Nd_2Fe_(14)B/α-Fe型多层膜的显微结构.结果表明,在退火前的多层膜中Fe层为多晶,硬磁相以非晶的状态存在;在600℃以上退火后软磁层消失,生成的Nd_2Fe_(14)B型相被固定在硬磁层内;625℃退火后发现有Nd_2Fe_(17)相在硬磁层中析出,表明在多层膜退火过程中,退火温度对相转变的影响比退火时间的影响更大.Nd_2Fe_(17)相的析出可能是高温退火后磁性能下降的主要原因.

掺杂Gd_2O_3对ZrO_2薄膜负非均匀性的影响

ZrO2膜层具有明显的负非均匀性,严重影响了在光学薄膜制备中的应用,特别是对多层增透膜有明显的影响。通过对膜层微观结构及生长成核过程的研究,揭示了ZrO2膜层负非均匀性产生的原因及特点。基于此,在ZrO2膜料中掺如一定量的Gd2O3膜料,在电子束蒸发和适当的真空度、淀积速率、基底温度等工艺条件下,明显地降低了ZrO2膜层折射率的负非均匀性,从而提高ZrO2膜层光学使用性能。