膜片式真空泵的抽气性能计算与测试分析

建立了膜片式真空泵抽气性能的数学模型,针对模型中的工作容积参数,采用有限元分析方法计算其变化规律.利用建立的模型,结合有限元仿真,对一款膜片式真空泵的抽气性能进行计算,然后将工作容积、抽气性能的预测结果与实测结果进行对比分析.结果表明,文中对工作容积和抽气性能的计算方法是有效的,计算结果精度满足工程要求.利用文中计算方法,可以在膜片式真空泵的设计开发阶段较精确地预测产品抽气性能,并进行优化设计,这有利于提升产品抽气性能,缩短开发周期.