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超高真空磁控溅射法沉积铀薄膜及其表面状态
被引量:
1
1
作者
陈秋云
赖新春
+3 位作者
黄火根
罗丽珠
蒋春丽
谭世勇
《材料保护》
CAS
CSCD
北大核心
2009年第12期10-11,共2页
铀薄膜有助于原子参数的测试研究,目前对铀薄膜研究的报道较少。利用超高真空磁控溅射法在单晶Si片上制备了铀薄膜。通过扫描电子显微镜(SEM)对铀薄膜的表面形貌进行了观察,利用X射线光电子能谱仪(XPS)及X射线衍射仪(XRD)对铀薄膜的表...
铀薄膜有助于原子参数的测试研究,目前对铀薄膜研究的报道较少。利用超高真空磁控溅射法在单晶Si片上制备了铀薄膜。通过扫描电子显微镜(SEM)对铀薄膜的表面形貌进行了观察,利用X射线光电子能谱仪(XPS)及X射线衍射仪(XRD)对铀薄膜的表面结构及元素状态进行了分析和表征。结果表明:铀薄膜呈片状式生长,比较致密、连续,表面由铀及氧化铀组成,之下为纯铀。
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关键词
磁控溅射
铀薄
膜
膜表面状态
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职称材料
题名
超高真空磁控溅射法沉积铀薄膜及其表面状态
被引量:
1
1
作者
陈秋云
赖新春
黄火根
罗丽珠
蒋春丽
谭世勇
机构
表面物理与化学国家重点实验室
出处
《材料保护》
CAS
CSCD
北大核心
2009年第12期10-11,共2页
文摘
铀薄膜有助于原子参数的测试研究,目前对铀薄膜研究的报道较少。利用超高真空磁控溅射法在单晶Si片上制备了铀薄膜。通过扫描电子显微镜(SEM)对铀薄膜的表面形貌进行了观察,利用X射线光电子能谱仪(XPS)及X射线衍射仪(XRD)对铀薄膜的表面结构及元素状态进行了分析和表征。结果表明:铀薄膜呈片状式生长,比较致密、连续,表面由铀及氧化铀组成,之下为纯铀。
关键词
磁控溅射
铀薄
膜
膜表面状态
Keywords
magnetron sputtering
uranium film
surface morphology
分类号
TB383.2 [一般工业技术—材料科学与工程]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
超高真空磁控溅射法沉积铀薄膜及其表面状态
陈秋云
赖新春
黄火根
罗丽珠
蒋春丽
谭世勇
《材料保护》
CAS
CSCD
北大核心
2009
1
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职称材料
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