1
四电极系统P—N结自停止腐蚀研究
徐义刚
王跃林
曾令海
丁纯
《Journal of Semiconductors》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1994
5
2
高浓度硼深扩散自停止腐蚀层硅片工艺研究
唐海林
凌宏芝
《电子元件与材料》
CAS
CSCD
北大核心
2007
2
3
自停止腐蚀工艺的观察
唐圣明
陈思琴
韩明
《电子显微学报》
CAS
CSCD
北大核心
2001
0
4
基于TMAH溶液的PN结自停止腐蚀的研究
李俊伍
顾慧
黄见秋
秦明
《电子器件》
CAS
2010
0
5
基于金硅腐蚀自停止技术的亚微米梁制作研究
陆荣
陆松涛
杨恒
《传感器与微系统》
CSCD
北大核心
2008
2
6
OEIC台面腐蚀工艺研究
范超
栗锐
陈堂胜
杨立杰
冯欧
冯忠
陈辰
焦世龙
叶玉堂
《固体电子学研究与进展》
CAS
CSCD
北大核心
2009
0
7
一种新型电容式压力传感器(英文)
黄晓东
黄见秋
秦明
黄庆安
《Journal of Semiconductors》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2008
7
8
双面接触式电容压力传感器的设计及制造工艺流程
许高攀
陈广文
胡国清
李志博
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
2001
2
9
高机械灵敏度悬空导电薄膜的制备方法研究
郑志霞
冯勇建
《厦门大学学报(自然科学版)》
CAS
CSCD
北大核心
2012
4
10
P+膜制备工艺研究
林雁飞
冯勇建
张丹
《中国机械工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005
0
11
用于器件级真空封装的MEMS加速度传感器的设计与制作
蔡梅妮
林友玲
车录锋
苏荣涛
周晓峰
黎晓林
《传感器与微系统》
CSCD
北大核心
2012
2
12
瓦里安300XP离子注入机改造及功能开发
张明亮
韩国威
刘庆
李艳
杨富华
王晓东
《分析测试技术与仪器》
CAS
2020
1
13
三明治电容式MEMS加速度计的器件级真空封装
蔡梅妮
车录锋
林友玲
周晓峰
黎晓林
吴健
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2012
0
14
SDB-SOI晶片减薄技术综述
孙涛
张伟才
《电子工业专用设备》
2011
1
15
AFM力传感器微机械加工技术的研究
李庆祥
徐毓娴
薛实福
刘永生
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1996
1
16
基于SOI材料α-Si:H TFTs的制作和特性研究(英文)
李蕾
温殿忠
李刚
赵晓锋
《强激光与粒子束》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015
2
17
用于脉搏波检测的背接触式触觉传感阵列单元
于婷婷
孙珂
裴彬彬
陈建中
钟朋
杨恒
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2020
2
18
基于金硅原电池保护电容加速度计的制作
王辉
吴燕红
杨恒
《传感器与微系统》
CSCD
北大核心
2012
0