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Pd在p型单晶硅(100)表面自催化化学沉积(英文)
1
作者
陈扬
景粉宁
+1 位作者
叶为春
王春明
《物理化学学报》
SCIE
CAS
CSCD
北大核心
2007年第11期1743-1746,共4页
研究了Pd在氢终止的p型单晶硅(100)表面的自催化化学沉积(AED).在室温下将刻蚀过的硅片浸入常规的HF-PdCl_2-HCl溶液制备了Pd膜.将沉积了Pd的基底作为工作电极,用循环伏安法(CV)、原子力显微镜(AFM)和X射线光电子能谱(XPS)研究了Pd膜的...
研究了Pd在氢终止的p型单晶硅(100)表面的自催化化学沉积(AED).在室温下将刻蚀过的硅片浸入常规的HF-PdCl_2-HCl溶液制备了Pd膜.将沉积了Pd的基底作为工作电极,用循环伏安法(CV)、原子力显微镜(AFM)和X射线光电子能谱(XPS)研究了Pd膜的阳极溶出行为和形貌.结果表明,Pd的生长遵循Volmer-Weber (VW)生长模式,Pd膜给出了很好的支持.
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关键词
自催化化学沉积
阳极溶出
PD
原子力显微镜
p型单晶硅(100)
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职称材料
题名
Pd在p型单晶硅(100)表面自催化化学沉积(英文)
1
作者
陈扬
景粉宁
叶为春
王春明
机构
兰州大学化学化工学院
出处
《物理化学学报》
SCIE
CAS
CSCD
北大核心
2007年第11期1743-1746,共4页
基金
教育部博士基金(20030730014)资助项目
文摘
研究了Pd在氢终止的p型单晶硅(100)表面的自催化化学沉积(AED).在室温下将刻蚀过的硅片浸入常规的HF-PdCl_2-HCl溶液制备了Pd膜.将沉积了Pd的基底作为工作电极,用循环伏安法(CV)、原子力显微镜(AFM)和X射线光电子能谱(XPS)研究了Pd膜的阳极溶出行为和形貌.结果表明,Pd的生长遵循Volmer-Weber (VW)生长模式,Pd膜给出了很好的支持.
关键词
自催化化学沉积
阳极溶出
PD
原子力显微镜
p型单晶硅(100)
Keywords
Autocatalytic electroless deposition
Anodic stripping
Palladium
Atomic force microscopy
p-Silicon (100)
分类号
O643.3 [理学—物理化学]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
Pd在p型单晶硅(100)表面自催化化学沉积(英文)
陈扬
景粉宁
叶为春
王春明
《物理化学学报》
SCIE
CAS
CSCD
北大核心
2007
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