大口径折反式355nm激光接收系统的调试方法

为实现大口径折反式355 nm激光接收系统的装调,提出了局部针对性的调试方法.两镜系统采用波长为355 nm和632.8 nm、镜间距一致的4D干涉仪自准直调试法;透镜组采用355 nm激光器和干涉仪前置镜头组成的自准直检测光路调试法。调试后得到两镜系统波像差均方根(RMS)为0.2026λ,满足设计指标0.2λ(λ为632.8 nm)的要求;透镜组调试后,理论后截距与自准直检测后截距差值在设计指标容差范围内。两镜系统与聚焦透镜组系统组合调试后,像方与物方焦点重合,接收系统调试满足设计要求。所提方法降低了系统装调难度,缩短了系统装调周期。