基于双波长红外光弹的全场内部应力自动分析技术

红外光弹法能够实现半导体材料内部应力的无损、全场表征。现有的红外光弹去包裹方法都需要一些手动干预,这成为制约红外光弹法实用于半导体应力在线检测的关键因素。本文提出了一种基于双波长红外光弹的全场内部应力自动分析技术,即双波长种子点自动识别法。该技术根据样品各点在不同波长下的相位变化趋势,解析其中所包含真实相位值的符号和绝对值信息,自动识别出相位去包裹所需要的初始种子点,从而避免了图像分析过程中的人工介入。本文围绕所提出的技术研制了双波长红外光弹实验装置,并利用该装置开展了单晶硅样品内部应力场的实验测量。将实验结果与已有方法进行对比,验证了本文提出方法及装置用于全自动分析复杂应力全场分布的可靠性。