信息化视角下自动化微电子装备发展现状及趋势展望

自动化微电子装备是当今信息化技术运用的典型代表,也是现代化技术中的主要力量。本文主要对自动化微电子装备发展现状进行简单阐述,进而结合信息化的特点对其未来发展趋势进行了展望。