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工艺流程的自动生成程序MyAPG及其应用
被引量:
2
1
作者
严利人
邰晓鹏
《微电子学》
CAS
CSCD
北大核心
2002年第2期124-127,共4页
自动工艺流程生成器对于集成电路生产自动化具有重要意义。文章介绍了一种工艺流程生成程序 My APG,对于程序所用到的工艺库和工艺步骤合并的处理进行了详细说明 。
关键词
集成电路生产
自动工艺流程生成器
工艺
库
工艺
步骤合并
下载PDF
职称材料
题名
工艺流程的自动生成程序MyAPG及其应用
被引量:
2
1
作者
严利人
邰晓鹏
机构
清华大学微电子研究所
出处
《微电子学》
CAS
CSCD
北大核心
2002年第2期124-127,共4页
文摘
自动工艺流程生成器对于集成电路生产自动化具有重要意义。文章介绍了一种工艺流程生成程序 My APG,对于程序所用到的工艺库和工艺步骤合并的处理进行了详细说明 。
关键词
集成电路生产
自动工艺流程生成器
工艺
库
工艺
步骤合并
Keywords
IC manufacturing
Automatic process generator
Process library
Process step combination
分类号
TN405 [电子电信—微电子学与固体电子学]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
工艺流程的自动生成程序MyAPG及其应用
严利人
邰晓鹏
《微电子学》
CAS
CSCD
北大核心
2002
2
下载PDF
职称材料
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