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大角度离子注入机的束流自动调节
被引量:
1
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作者
王迪平
孙勇
《电子工业专用设备》
2010年第9期17-22,共6页
阐述了大角度离子注入机的束流自动调节,着重描述了新建立菜单的第一次调束,从束流的引出到固定法拉第杯获得目标束流的具体调节步骤,包括束流的均匀性检测的全部过程,另外对调束过程中的一些算法也进行了细致的介绍。
关键词
大角度离子注入机
自动束流调节
菜单
固定法拉第杯
均匀性
下载PDF
职称材料
MEVVA源离子注入机控制系统的实现
2
作者
张敬敏
刘伟
+2 位作者
魏鑫
江海
李弥
《制造业自动化》
CSCD
2017年第9期142-144,共3页
通过分析MEVVA离子源的电气特性,提出离子注入机控制系统的特殊要求,在此基础上设计实现了基于PLC的控制系统。介绍了控制系统组成,重点介绍了自动调束的方法和流程。
关键词
MEVVA离子源
离子注入
自动
控制
束流
自动
调节
下载PDF
职称材料
题名
大角度离子注入机的束流自动调节
被引量:
1
1
作者
王迪平
孙勇
机构
中国电子科技集团公司第四十八研究所
出处
《电子工业专用设备》
2010年第9期17-22,共6页
文摘
阐述了大角度离子注入机的束流自动调节,着重描述了新建立菜单的第一次调束,从束流的引出到固定法拉第杯获得目标束流的具体调节步骤,包括束流的均匀性检测的全部过程,另外对调束过程中的一些算法也进行了细致的介绍。
关键词
大角度离子注入机
自动束流调节
菜单
固定法拉第杯
均匀性
Keywords
Thelargetiltionimplanter
Tuningbeamwithautomation
Recipe
Setupfaraday
Uniformity
分类号
TN305.3 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
MEVVA源离子注入机控制系统的实现
2
作者
张敬敏
刘伟
魏鑫
江海
李弥
机构
北京机械工业自动化研究所
出处
《制造业自动化》
CSCD
2017年第9期142-144,共3页
文摘
通过分析MEVVA离子源的电气特性,提出离子注入机控制系统的特殊要求,在此基础上设计实现了基于PLC的控制系统。介绍了控制系统组成,重点介绍了自动调束的方法和流程。
关键词
MEVVA离子源
离子注入
自动
控制
束流
自动
调节
分类号
TH16 [机械工程—机械制造及自动化]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
大角度离子注入机的束流自动调节
王迪平
孙勇
《电子工业专用设备》
2010
1
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职称材料
2
MEVVA源离子注入机控制系统的实现
张敬敏
刘伟
魏鑫
江海
李弥
《制造业自动化》
CSCD
2017
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