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扩散真空泵性能自动测试系统的研制
被引量:
1
1
作者
梁文升
张世伟
+1 位作者
张志军
徐成海
《真空》
CAS
北大核心
2009年第6期20-23,共4页
本文介绍了一套新研制的扩散真空泵性能的自动测试系统。该系统可以按照国家标准规定的方法自动检测扩散真空泵的极限压力和抽速。系统利用自主开发的光电液位检测方法和元件实现滴管液位的自动读取和记时;利用步进电机驱动针阀实现气...
本文介绍了一套新研制的扩散真空泵性能的自动测试系统。该系统可以按照国家标准规定的方法自动检测扩散真空泵的极限压力和抽速。系统利用自主开发的光电液位检测方法和元件实现滴管液位的自动读取和记时;利用步进电机驱动针阀实现气体流量和测试罩内压力的自动调节;使用上位PC机和下位单片机的双级控制系统实现对整个测试系统和测试过程的自动控制。
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关键词
扩散泵
性能
测试
设备研制
自动测试
系统
:
抽
速
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职称材料
题名
扩散真空泵性能自动测试系统的研制
被引量:
1
1
作者
梁文升
张世伟
张志军
徐成海
机构
东北大学机械工程与自动化学院
出处
《真空》
CAS
北大核心
2009年第6期20-23,共4页
文摘
本文介绍了一套新研制的扩散真空泵性能的自动测试系统。该系统可以按照国家标准规定的方法自动检测扩散真空泵的极限压力和抽速。系统利用自主开发的光电液位检测方法和元件实现滴管液位的自动读取和记时;利用步进电机驱动针阀实现气体流量和测试罩内压力的自动调节;使用上位PC机和下位单片机的双级控制系统实现对整个测试系统和测试过程的自动控制。
关键词
扩散泵
性能
测试
设备研制
自动测试
系统
:
抽
速
Keywords
diffusion pump
performance
R&D
automatic testing system
pumping speed
分类号
TB752.42 [一般工业技术—真空技术]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
扩散真空泵性能自动测试系统的研制
梁文升
张世伟
张志军
徐成海
《真空》
CAS
北大核心
2009
1
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