整体式自动化物料运输系统防拥堵调度策略

为解决自动化物料运输系统中的车辆拥堵问题,提高生产运输效率,根据混合布局建立轨道的图网络模型,提出基于实时交通信息的动态调度方法。在调度过程的运输任务指派和运输路径规划阶段均使用加入交通信息的预测时间,运输任务指派根据系统状态变化使用匈牙利算法动态求解,路径规划也会根据轨道权重变化选择最快到达目的地的路径。实验结果表明,提出方法可以有效缓解车辆拥堵,减少晶圆的平均运输周期。

基于排队网络的晶圆制造自动化物料运输系统性能模型

为快速有效地分析晶圆制造自动化物料运输系统的性能,以获得优化的系统设计方案,提出一种基于排队网络的性能分析模型。该模型考虑多运输小车的堵塞特性,将运输小车运行过程等效为排队网络过程,并采用虚拟元对自动化物料运输系统的捷径导轨特性进行描述,提高了性能分析模型的准确性。采用某晶圆制造企业的实际生产数据进行实验,并与仿真模型进行比较。结果表明:基于排队网络的性能分析模型与仿真模型在运输小车利用率、AMHS搬运能力和空载小车到达平均时间间隔等指标方面的相对误差值97%处于[-7%,9%]的区间范围,且比仿真模型具有更高的计算效率。

晶圆制造物料运输系统实时调度方法

Interbay物料运输系统的运行效率对晶圆制造系统的影响较大。为减少运输小车平均搬运工件时间、晶圆工件的等待时间和运输小车的临时性堵塞,提出一种基于匈牙利算法的实时调度方法,并建立工件调度模型。基于300 mm晶圆制造系统数据的仿真结果表明,与传统的Interbay物料运输调度方法相比,该方法能有效提高Interbay物料运输系统的综合性能。

浅析晶圆制造自动化物料运输系统调度研究现状

自动化物料运输系统(Automatic Material Handling System,AMHS)在晶圆制造中扮演着非常重要的角色,已成为晶圆制造工厂不可或缺的组成部分。晶圆制造AMHS具有运输任务规模庞大、运输需求随机、任务实时性要求高等特点,通过调度优化可显著提高AMHS及晶圆制造系统运行效率。对晶圆制造AMHS调度方法研究现状进行了简单总结,并指出了AMHS调度进一步的研究方向。

晶圆制造物料运输系统性能分析建模方法

为在自动化物料搬运系统设计阶段快速有效地分析该系统的性能,提出一种扩展Markov模型的建模方法,该方法减少了自动化物料搬运系统性能分析模型的规模,避免了模型的状态空间规模爆炸。采用某晶圆制造企业的实际生产数据进行测试,并与仿真分析方法比较。结果表明,扩展Markov模型与仿真模型在自动化物料搬运系统搬运量、运输小车利用率和空载小车到达平均时间间隔等指标方面的相对误差值为96%,处于[-8%,10%]的区间范围;与仿真模型相比,扩展Markov模型的性能分析效率提高了600倍以上。由此验证了所提扩展Markov模型建模方法的有效性。

晶圆制造AMHS防堵塞路径规划方法研究

自动化物料运输系统(Automated Material Handling System,AMHS)是12英寸晶圆制造系统至关重要的组成部分,AMHS中的天车(Overhead Hoist Transport,OHT)频繁堵塞严重影响AMHS和晶圆制造系统的运行性能。为减少AMHS运行中的OHT堵塞,提出一种基于运输导轨通行权重动态调整与Dijkstra算法(Guide-rail Passing-weight Dynamic Adjustment and Dijkstra Algorithm,GPDADA)的动态路径规划方法。方法基于各运输导轨中的OHT实时通行时间与实时堵塞信息动态调整运输导轨通行权重表,并采用Dijkstra算法动态获取通行权重加权最小的OHT优化搬运路径。实验研究表明,提出的GPDADA方法在多个AMHS性能指标方面均优于传统OHT防堵塞路径规划方法,验证了GPDADA方法的有效性。