基于CPN Tools的可重入自动组合设备的建模与仿真

提出将全自动免疫分析检测设备看作一种可重入的双臂自动组合设备。采用时间着色的Petri网(TCPN)对该类检测设备的检测过程进行建模,并利用CPN tools评价模型性能及仿真实验。为优化检测过程,设计了DPC动态投料策略和LSPON、FIFO调度策略,并综合两类策略提出复合控制策略对TCPN模型进行调度求解。针对不同规模的批量检测项目实例在CPN tools平台上结合提出的不同策略进行调度。仿真结果验证了TCPN模型与所提出策略相结合调度方法的合理性。

晶圆制造自动化组合设备的调度问题研究

晶圆制造的加工工艺日趋复杂,存在严格的逗留时间约束,无法解决自动化组合设备的调度问题,尤其对于重入加工、作业时间的随机波动及多自动化组合设备等复杂的加工过程更是如此。通过分析晶圆制造自动化组合设备调度的难点和局限性以及现有的调度方法及其局限性,提出了"仿真+启发式+优化"的方法,可能是有效解决组合设备调度问题的途径。

立式记忆系统自动组合称重工艺设备

市面上许多食品，包括休闲小食品、糖果及谷物食品，均以一定的产品重量进行包装和出售。重量要达到指定的标准，称重机的使用便是关键所在。日本安立株式会社推出的自动组合称重机，能准确称量由牛产线连续输出的食品的重量，组合和计算称重的结果，分成一定重量的包装，并引导到包装机。

虚拟晶圆制造双臂自动组合装置的实现

以eM-Plant系统仿真软件为工具,构建出一个虚拟的双臂自动组合装置。该装置克服了传统解析法的缺点,通过仿真模型来描述与分析半导体加工装置的调度问题,是研究人员研究自动组合装置控制问题的有效手段,也是半导体制造工程师验证生产调度的可行性的仿真平台。

立式记忆系统自动组合称重工艺设备

市面上许多食品，包括休闲小食品、糖果及谷物食品，均以一定的产品重量进行包装和出售。重量要达到指定的标准，称重机的使用便是关键所在。日本安立株式会社推出的自动组合称重机，能准确称量由牛产线连续输出的食品的重量，组合和计算称重的结果，分成一定重量的包装，并引导到包装机。

晶圆重入加工的组合设备初始暂态建模和分析

随着晶圆直径的增大以及小批量、多批次加工,生产过程频繁地在暂态和稳态之间切换。为了满足大晶圆的加工需求和提高组合设备的加工性能,研究具有重入的晶圆加工组合设备的初始暂态具有重要意义。此外,组合设备除机械手外没有缓冲,使系统的调度和控制变得更加困难。基于eM-Plant仿真平台和优化算法,对重入加工双臂组合设备的初始暂态进行建模和仿真,分析了重入加工的初始暂态至稳态的过渡过程。采用仿真例子验证了该仿真系统的有效性,为组合设备重入加工的优化控制提供了借鉴。

基于eM-Plant的晶圆重入加工自动组合装置仿真

原子层沉积加工是晶圆制造中典型的重入加工,在这个过程中,晶圆需要在同一个模块中被加工多次,这使得整个系统的调度变得很复杂。为此,基于eM-Plant系统仿真软件,建立了晶圆制造单臂自动组合设备的模型,通过该模型模拟了晶圆重入加工调度过程,最终获得系统加工的节拍,为以后研究晶圆重入加工提供了一个有效方法。

基于eM-Plant的参数化虚拟组合设备

由于大直径晶圆的加工具有严格的逗留时间约束和时间波动,使得组合设备的调度及其可行性的验证存在很大的困难,而仿真是一个有效的方法.如果组合设备的调度存在可行性,那么,通过仿真能够找到系统的可行调度.利用eM-Plant建立了虚拟的单臂组合设备,该系统是可重配置的.不同类型的晶圆加工具有不同的晶圆流模式和加工时间,该虚拟组合设备能够模拟不同的晶圆加工,而参数化的虚拟组合设备实现了可重用性.为了实现可视化,建立了三维模型的虚拟组合设备.对于操作组合设备的工程人员来说,该系统是直观和有效的.最后,通过例子验证了虚拟组合设备是可行的.