正交检波在自动阻抗匹配器信号检测中的应用研究

分析了自动阻抗匹配器中常规信号检测及相应匹配控制算法存在的不足,给出了高速模拟开关正交检波方案。理论分析表明,正交检波在自动阻抗匹配器信号检测中能够同时获得射频信号的幅值和相位信息;模拟实验结果表明,模拟开关正交检波方案有抑制噪声能力强、线性度好、动态范围宽等优点。与仅检测到射频信号的入射功率和反射功率相比,实时监测射频信号的幅值和相位信息,可以进一步提高自动阻抗匹配器的匹配性能。

基于FP0-C14 PLC的自动阻抗匹配器的研制

为了使随工艺条件变化的动态阻容等效负载自动变换成传输线的特征阻抗50,实现射频电源的最大功率传输,提出了一种PLC控制的自动阻抗匹配器设计方案,采用鉴相鉴幅方法,构建闭环控制系统,实现对动态变化阻抗的实时跟踪。匹配良好时,反射系数可以控制在0.2%以内,具备匹配范围大、可靠性高、抗干扰能力强等特点。最后通过计算机仿真和现场实验验证了该设计方法的有效性和可行性。