自吸式电化学检测仪的研制与应用

为了满足半导体行业制造过程中对NH_(3)、HCl、C_(8)H_(20)O_(4)Si、SiH_(4)等电子特种气体泄漏检测的需要,设计了一种基于电化学传感器的固定式气体检测仪。从硬件与软件两个方面详细描述了该仪器的功能和特点。在半导体车间对仪器进行了SiH_(4)、NH_(3)、C_(8)H_(20)O_(4)Si标气检测,结果显示SiH_(4)传感器示值误差小于1%,重复性标准偏差小于1%;C_(8)H_(20)O_(4)Si示值误差小于1%,重复性标准偏差小于1%;NH_(3)示值误差小于1.5%,重复性标准偏差小于1%。表明该检测仪具有较高的检测准确性和优秀的现场应用能力,能够满足对电子特种气体的检测需求,可在半导体行业推广。