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CYBJ-971型溅射金属薄膜压力传感器及其在自容式下井系统中的应用
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作者 曾永红 易新建 曾延安 《传感器世界》 2002年第1期24-27,共4页
本文介绍了CYBJ-971型溅射金属薄膜压力传感器的主要性能参数及其在自容式下井计中的应用实例,通过实例给出了应用该型传感器设计压力测量系统和通过软件对压力传感器的滞后和温漂进行补偿的方法。
关键词 压力传感器 溅射 自容式下井系统 金属薄膜
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