期刊导航
期刊开放获取
河南省图书馆
退出
期刊文献
+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
检索
高级检索
期刊导航
共找到
1
篇文章
<
1
>
每页显示
20
50
100
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
显示方式:
文摘
详细
列表
相关度排序
被引量排序
时效性排序
微反射镜和光纤自对准V型槽的制作
被引量:
3
1
作者
董玮
阮圣平
+6 位作者
张歆东
刘彩霞
张龙
纪平
潘建旋
贾翠萍
陈维友
《微细加工技术》
2002年第4期66-69,74,共5页
用纯KOH水溶液和KOH +IPA混合水溶液在 ( 1 0 0 )硅片上沿 <1 0 0 >方向上腐蚀所暴露的平面是不同的。纯KOH水溶液中总是能暴露与衬底垂直的 {1 0 0 }面 ,在KOH +IPA溶液中 ,随着KOH的浓度不同将暴露 {1 1 0 }和 {1 0 0 }面。使用...
用纯KOH水溶液和KOH +IPA混合水溶液在 ( 1 0 0 )硅片上沿 <1 0 0 >方向上腐蚀所暴露的平面是不同的。纯KOH水溶液中总是能暴露与衬底垂直的 {1 0 0 }面 ,在KOH +IPA溶液中 ,随着KOH的浓度不同将暴露 {1 1 0 }和 {1 0 0 }面。使用KOH浓度为 50 %的KOH +IPA溶液 ,在 ( 1 0 0 )硅片上一次掩模制作微反射镜和光纤自对准V型槽 ,微镜的表面粗糙度低于 1 0nm。
展开更多
关键词
微反射镜
光纤
自对准v型槽
制作
KOH溶液
KOH+IPA溶液
氢氧化钾
光开关
下载PDF
职称材料
题名
微反射镜和光纤自对准V型槽的制作
被引量:
3
1
作者
董玮
阮圣平
张歆东
刘彩霞
张龙
纪平
潘建旋
贾翠萍
陈维友
机构
吉林大学电子科学与工程学院集成光电子学国家重点实验室
出处
《微细加工技术》
2002年第4期66-69,74,共5页
基金
国家自然科学基金资助项目 (6 99370 10 )
吉林省科学计划发展项目 (2 0 0 10 319)
文摘
用纯KOH水溶液和KOH +IPA混合水溶液在 ( 1 0 0 )硅片上沿 <1 0 0 >方向上腐蚀所暴露的平面是不同的。纯KOH水溶液中总是能暴露与衬底垂直的 {1 0 0 }面 ,在KOH +IPA溶液中 ,随着KOH的浓度不同将暴露 {1 1 0 }和 {1 0 0 }面。使用KOH浓度为 50 %的KOH +IPA溶液 ,在 ( 1 0 0 )硅片上一次掩模制作微反射镜和光纤自对准V型槽 ,微镜的表面粗糙度低于 1 0nm。
关键词
微反射镜
光纤
自对准v型槽
制作
KOH溶液
KOH+IPA溶液
氢氧化钾
光开关
Keywords
KOH solution
KOH+IPA solution
reflecti
v
e micromirror
surface roughness
分类号
TN256 [电子电信—物理电子学]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
微反射镜和光纤自对准V型槽的制作
董玮
阮圣平
张歆东
刘彩霞
张龙
纪平
潘建旋
贾翠萍
陈维友
《微细加工技术》
2002
3
下载PDF
职称材料
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
上一页
1
下一页
到第
页
确定
用户登录
登录
IP登录
使用帮助
返回顶部