期刊文献+
共找到1篇文章
< 1 >
每页显示 20 50 100
微反射镜和光纤自对准V型槽的制作 被引量:3
1
作者 董玮 阮圣平 +6 位作者 张歆东 刘彩霞 张龙 纪平 潘建旋 贾翠萍 陈维友 《微细加工技术》 2002年第4期66-69,74,共5页
用纯KOH水溶液和KOH +IPA混合水溶液在 ( 1 0 0 )硅片上沿 <1 0 0 >方向上腐蚀所暴露的平面是不同的。纯KOH水溶液中总是能暴露与衬底垂直的 {1 0 0 }面 ,在KOH +IPA溶液中 ,随着KOH的浓度不同将暴露 {1 1 0 }和 {1 0 0 }面。使用... 用纯KOH水溶液和KOH +IPA混合水溶液在 ( 1 0 0 )硅片上沿 <1 0 0 >方向上腐蚀所暴露的平面是不同的。纯KOH水溶液中总是能暴露与衬底垂直的 {1 0 0 }面 ,在KOH +IPA溶液中 ,随着KOH的浓度不同将暴露 {1 1 0 }和 {1 0 0 }面。使用KOH浓度为 50 %的KOH +IPA溶液 ,在 ( 1 0 0 )硅片上一次掩模制作微反射镜和光纤自对准V型槽 ,微镜的表面粗糙度低于 1 0nm。 展开更多
关键词 微反射镜 光纤 自对准v型槽 制作 KOH溶液 KOH+IPA溶液 氢氧化钾 光开关
下载PDF
上一页 1 下一页 到第
使用帮助 返回顶部