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自成形硅表面微结构:表面特征及潜在应用
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作者 李佳城 刘爽 +2 位作者 伍胜兰 刘永 钟智勇 《电子科技大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第2期180-184,共5页
采用等离子体增强化学气相沉积法(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition, PECVD)制备掺氢非晶硅膜,并对其表面结构学进行研究。该文发现在晶体硅衬底上沉积非晶硅薄膜时,会在表面形成非均匀分布的起泡缺陷。在已制备的非晶硅薄膜... 采用等离子体增强化学气相沉积法(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition, PECVD)制备掺氢非晶硅膜,并对其表面结构学进行研究。该文发现在晶体硅衬底上沉积非晶硅薄膜时,会在表面形成非均匀分布的起泡缺陷。在已制备的非晶硅薄膜上进一步沉积了氮化硅/非晶硅的交替层,在起泡缺陷原位形成了一个完美的穹顶多壳的微结构,并且没有明显的结构坍塌。该文总结了自成形穹顶微结构的3个独特的结构特性,并进一步指出了该自成形穹顶微结构在纳米光学和微机电系统中的潜在应用。 展开更多
关键词 微机电系统 非晶硅 起泡缺陷 自成形 硅微/纳结构
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自成形微细电极制备技术研究 被引量:2
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作者 周林 王宝瑞 《电加工与模具》 2006年第2期50-53,共4页
以目前微细电火花加工中微细电极常用的制备技术为基础,提出了自成形微细电极制备技术。通过研究,掌握了自成形微细电极制备技术工艺关键,并与传统制备方法的反拷块法进行了实验对比,获得了较为理想外形尺寸精度、长径比的电极。
关键词 微细电火花加工 微细电极 自成形
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皮秒激光扫描硅材料微孔自成形行为及机理研究 被引量:2
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作者 李鑫 张彤 +1 位作者 季凌飞 张犁天 《激光与光电子学进展》 CSCD 北大核心 2022年第1期225-232,共8页
采用脉宽为10 ps、频率为200 kHz、波长为1064 nm的皮秒激光在硅表面扫描会自成形微孔结构,通过改变脉冲能量密度、扫描速度和扫描次数,实验研究了微孔的演变规律。结果表明:不同参数对微孔的影响可以归纳为脉冲能量密度和单位面积内有... 采用脉宽为10 ps、频率为200 kHz、波长为1064 nm的皮秒激光在硅表面扫描会自成形微孔结构,通过改变脉冲能量密度、扫描速度和扫描次数,实验研究了微孔的演变规律。结果表明:不同参数对微孔的影响可以归纳为脉冲能量密度和单位面积内有效脉冲数。随着脉冲能量密度的增加,微孔逐渐向沟槽两侧移动,由初始的随机排列演变成一维线性均匀排列;随着单位面积内有效脉冲数的增加,边缘两侧微孔数量由少变多,尺寸由小变大,最终消失。通过模拟温度场分析了不同温度下材料相变和表面张力的变化,发现在表面张力的驱动下液相硅凝固形成凸起,凸起导致激光能量不均匀沉积,最终形成微孔。这表明微孔自成形的物理机理为激光诱导材料相变和马兰戈尼效应的共同作用。 展开更多
关键词 激光光学 皮秒激光扫描 微孔结构 自成形
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玻璃纤维-铝锂合金层板机翼前缘结构的成型工艺研究 被引量:2
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作者 华小歌 李华冠 +3 位作者 陆一 陈虞杰 孙邓辉 陶杰 《航空制造技术》 2017年第16期58-63,共6页
以机翼前缘典型件为成型目标,研究了玻璃纤维-铝锂合金超混杂复合层板(NFMLs)大曲率构件的自成形工艺。研究发现,自成形工艺可实现NFMLs机翼前缘等大曲率构件的成型,贴膜度高、厚度均匀性好、无显著分层缺陷、成型过程未形成较大的残余... 以机翼前缘典型件为成型目标,研究了玻璃纤维-铝锂合金超混杂复合层板(NFMLs)大曲率构件的自成形工艺。研究发现,自成形工艺可实现NFMLs机翼前缘等大曲率构件的成型,贴膜度高、厚度均匀性好、无显著分层缺陷、成型过程未形成较大的残余应力,为超混杂复合材料在飞机机翼蒙皮结构中的应用研究提供参考。 展开更多
关键词 超混杂复合层板 铝锂合金 自成形 机翼前缘
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椎弓根钉治疗胸腰椎爆裂性骨折47例 被引量:3
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作者 姜良花 《中国中西医结合外科杂志》 CAS 2012年第3期292-293,共2页
目的:探讨经后路短节段椎弓根钉非融合内固定联合椎体自成形治疗胸腰椎爆裂性骨折的有效性。方法:对47例胸腰椎爆裂性骨折患者应用后路椎板小开窗,通过足形椎体打平器将骨块复位并塌陷,短节段椎弓根钉非融合内固定,术后佩戴腰围支... 目的:探讨经后路短节段椎弓根钉非融合内固定联合椎体自成形治疗胸腰椎爆裂性骨折的有效性。方法:对47例胸腰椎爆裂性骨折患者应用后路椎板小开窗,通过足形椎体打平器将骨块复位并塌陷,短节段椎弓根钉非融合内固定,术后佩戴腰围支具活动,术后10-15个月取出钉棒内固定系统。结果:47例椎体高度与正常椎体高度比值、Cobb角、椎管占位率及神经脊髓损伤按Frankel分级,术后及1.5年后随访,与术前相比差异有统计学意义(P〈0.05)。结论:胸腰椎爆裂性骨折行短节段椎弓根钉非融合内固定,既能最大程度保留后柱结构,又能直接对骨折复位,减少椎体内空隙,加强了椎体强度,从而减少伤椎高度的丢失,有效防止腰椎后突畸形的发生。 展开更多
关键词 胸腰椎爆裂性骨折 椎板开窗 椎体自成形
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切顶留巷动压对非采煤侧帮的影响研究
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作者 惠兴田 刘一凡 胡梓俊 《煤炭技术》 CAS 2018年第8期4-6,共3页
采用Y形留巷和Z形自成巷2种沿空留巷方式对比,研究非采煤侧帮变形的影响因素。基于理论力学,研究了非采煤侧帮受力破坏特点,建立了切顶留巷下非采煤侧帮的力学模型,理论分析了动压对非采煤侧帮的影响。
关键词 切顶留巷 非采煤侧帮 Y留巷 Z自成 回采动压
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