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自成形硅表面微结构:表面特征及潜在应用
1
作者
李佳城
刘爽
+2 位作者
伍胜兰
刘永
钟智勇
《电子科技大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2024年第2期180-184,共5页
采用等离子体增强化学气相沉积法(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition, PECVD)制备掺氢非晶硅膜,并对其表面结构学进行研究。该文发现在晶体硅衬底上沉积非晶硅薄膜时,会在表面形成非均匀分布的起泡缺陷。在已制备的非晶硅薄膜...
采用等离子体增强化学气相沉积法(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition, PECVD)制备掺氢非晶硅膜,并对其表面结构学进行研究。该文发现在晶体硅衬底上沉积非晶硅薄膜时,会在表面形成非均匀分布的起泡缺陷。在已制备的非晶硅薄膜上进一步沉积了氮化硅/非晶硅的交替层,在起泡缺陷原位形成了一个完美的穹顶多壳的微结构,并且没有明显的结构坍塌。该文总结了自成形穹顶微结构的3个独特的结构特性,并进一步指出了该自成形穹顶微结构在纳米光学和微机电系统中的潜在应用。
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关键词
微机电系统
非晶硅
起泡缺陷
自成形
硅微/纳结构
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职称材料
自成形微细电极制备技术研究
被引量:
2
2
作者
周林
王宝瑞
《电加工与模具》
2006年第2期50-53,共4页
以目前微细电火花加工中微细电极常用的制备技术为基础,提出了自成形微细电极制备技术。通过研究,掌握了自成形微细电极制备技术工艺关键,并与传统制备方法的反拷块法进行了实验对比,获得了较为理想外形尺寸精度、长径比的电极。
关键词
微细电火花加工
微细电极
自成形
法
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职称材料
皮秒激光扫描硅材料微孔自成形行为及机理研究
被引量:
2
3
作者
李鑫
张彤
+1 位作者
季凌飞
张犁天
《激光与光电子学进展》
CSCD
北大核心
2022年第1期225-232,共8页
采用脉宽为10 ps、频率为200 kHz、波长为1064 nm的皮秒激光在硅表面扫描会自成形微孔结构,通过改变脉冲能量密度、扫描速度和扫描次数,实验研究了微孔的演变规律。结果表明:不同参数对微孔的影响可以归纳为脉冲能量密度和单位面积内有...
采用脉宽为10 ps、频率为200 kHz、波长为1064 nm的皮秒激光在硅表面扫描会自成形微孔结构,通过改变脉冲能量密度、扫描速度和扫描次数,实验研究了微孔的演变规律。结果表明:不同参数对微孔的影响可以归纳为脉冲能量密度和单位面积内有效脉冲数。随着脉冲能量密度的增加,微孔逐渐向沟槽两侧移动,由初始的随机排列演变成一维线性均匀排列;随着单位面积内有效脉冲数的增加,边缘两侧微孔数量由少变多,尺寸由小变大,最终消失。通过模拟温度场分析了不同温度下材料相变和表面张力的变化,发现在表面张力的驱动下液相硅凝固形成凸起,凸起导致激光能量不均匀沉积,最终形成微孔。这表明微孔自成形的物理机理为激光诱导材料相变和马兰戈尼效应的共同作用。
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关键词
激光光学
皮秒激光扫描
微孔结构
硅
自成形
原文传递
玻璃纤维-铝锂合金层板机翼前缘结构的成型工艺研究
被引量:
2
4
作者
华小歌
李华冠
+3 位作者
陆一
陈虞杰
孙邓辉
陶杰
《航空制造技术》
2017年第16期58-63,共6页
以机翼前缘典型件为成型目标,研究了玻璃纤维-铝锂合金超混杂复合层板(NFMLs)大曲率构件的自成形工艺。研究发现,自成形工艺可实现NFMLs机翼前缘等大曲率构件的成型,贴膜度高、厚度均匀性好、无显著分层缺陷、成型过程未形成较大的残余...
以机翼前缘典型件为成型目标,研究了玻璃纤维-铝锂合金超混杂复合层板(NFMLs)大曲率构件的自成形工艺。研究发现,自成形工艺可实现NFMLs机翼前缘等大曲率构件的成型,贴膜度高、厚度均匀性好、无显著分层缺陷、成型过程未形成较大的残余应力,为超混杂复合材料在飞机机翼蒙皮结构中的应用研究提供参考。
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关键词
超混杂复合层板
铝锂合金
自成形
机翼前缘
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职称材料
椎弓根钉治疗胸腰椎爆裂性骨折47例
被引量:
3
5
作者
姜良花
《中国中西医结合外科杂志》
CAS
2012年第3期292-293,共2页
目的:探讨经后路短节段椎弓根钉非融合内固定联合椎体自成形治疗胸腰椎爆裂性骨折的有效性。方法:对47例胸腰椎爆裂性骨折患者应用后路椎板小开窗,通过足形椎体打平器将骨块复位并塌陷,短节段椎弓根钉非融合内固定,术后佩戴腰围支...
目的:探讨经后路短节段椎弓根钉非融合内固定联合椎体自成形治疗胸腰椎爆裂性骨折的有效性。方法:对47例胸腰椎爆裂性骨折患者应用后路椎板小开窗,通过足形椎体打平器将骨块复位并塌陷,短节段椎弓根钉非融合内固定,术后佩戴腰围支具活动,术后10-15个月取出钉棒内固定系统。结果:47例椎体高度与正常椎体高度比值、Cobb角、椎管占位率及神经脊髓损伤按Frankel分级,术后及1.5年后随访,与术前相比差异有统计学意义(P〈0.05)。结论:胸腰椎爆裂性骨折行短节段椎弓根钉非融合内固定,既能最大程度保留后柱结构,又能直接对骨折复位,减少椎体内空隙,加强了椎体强度,从而减少伤椎高度的丢失,有效防止腰椎后突畸形的发生。
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关键词
胸腰椎爆裂性骨折
椎板开窗
椎体
自成形
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职称材料
切顶留巷动压对非采煤侧帮的影响研究
6
作者
惠兴田
刘一凡
胡梓俊
《煤炭技术》
CAS
2018年第8期4-6,共3页
采用Y形留巷和Z形自成巷2种沿空留巷方式对比,研究非采煤侧帮变形的影响因素。基于理论力学,研究了非采煤侧帮受力破坏特点,建立了切顶留巷下非采煤侧帮的力学模型,理论分析了动压对非采煤侧帮的影响。
关键词
切顶留巷
非采煤侧帮
Y
形
留巷
Z
形
自成
巷
回采动压
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职称材料
题名
自成形硅表面微结构:表面特征及潜在应用
1
作者
李佳城
刘爽
伍胜兰
刘永
钟智勇
机构
电子科技大学光电科学与工程学院
电子科技大学电子科学与工程学院
出处
《电子科技大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2024年第2期180-184,共5页
基金
国家自然科学基金(61734002,61435010,61177035,61421002)。
文摘
采用等离子体增强化学气相沉积法(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition, PECVD)制备掺氢非晶硅膜,并对其表面结构学进行研究。该文发现在晶体硅衬底上沉积非晶硅薄膜时,会在表面形成非均匀分布的起泡缺陷。在已制备的非晶硅薄膜上进一步沉积了氮化硅/非晶硅的交替层,在起泡缺陷原位形成了一个完美的穹顶多壳的微结构,并且没有明显的结构坍塌。该文总结了自成形穹顶微结构的3个独特的结构特性,并进一步指出了该自成形穹顶微结构在纳米光学和微机电系统中的潜在应用。
关键词
微机电系统
非晶硅
起泡缺陷
自成形
硅微/纳结构
Keywords
MEMS
amorphous silicon films
blister defect
self-formed
silicon micro/nanostructures
分类号
TB43 [一般工业技术]
O43 [机械工程—光学工程]
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职称材料
题名
自成形微细电极制备技术研究
被引量:
2
2
作者
周林
王宝瑞
机构
中国工程物理研究院机械制造工艺研究所
出处
《电加工与模具》
2006年第2期50-53,共4页
文摘
以目前微细电火花加工中微细电极常用的制备技术为基础,提出了自成形微细电极制备技术。通过研究,掌握了自成形微细电极制备技术工艺关键,并与传统制备方法的反拷块法进行了实验对比,获得了较为理想外形尺寸精度、长径比的电极。
关键词
微细电火花加工
微细电极
自成形
法
Keywords
micro-EDM
micro-electrode
self forming method
分类号
TG661 [金属学及工艺—金属切削加工及机床]
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职称材料
题名
皮秒激光扫描硅材料微孔自成形行为及机理研究
被引量:
2
3
作者
李鑫
张彤
季凌飞
张犁天
机构
北京工业大学材料与制造学部激光工程研究院
北京工业大学跨尺度激光成型制造技术教育部重点实验室
出处
《激光与光电子学进展》
CSCD
北大核心
2022年第1期225-232,共8页
基金
国家自然科学基金(51975017)
北京市教委科技计划(KZ202110005012)
国家重点研发计划(2018YFB1107500)。
文摘
采用脉宽为10 ps、频率为200 kHz、波长为1064 nm的皮秒激光在硅表面扫描会自成形微孔结构,通过改变脉冲能量密度、扫描速度和扫描次数,实验研究了微孔的演变规律。结果表明:不同参数对微孔的影响可以归纳为脉冲能量密度和单位面积内有效脉冲数。随着脉冲能量密度的增加,微孔逐渐向沟槽两侧移动,由初始的随机排列演变成一维线性均匀排列;随着单位面积内有效脉冲数的增加,边缘两侧微孔数量由少变多,尺寸由小变大,最终消失。通过模拟温度场分析了不同温度下材料相变和表面张力的变化,发现在表面张力的驱动下液相硅凝固形成凸起,凸起导致激光能量不均匀沉积,最终形成微孔。这表明微孔自成形的物理机理为激光诱导材料相变和马兰戈尼效应的共同作用。
关键词
激光光学
皮秒激光扫描
微孔结构
硅
自成形
Keywords
laser optics
picosecond laser scanning
microhole structure
silicon
self-formation
分类号
TN249 [电子电信—物理电子学]
原文传递
题名
玻璃纤维-铝锂合金层板机翼前缘结构的成型工艺研究
被引量:
2
4
作者
华小歌
李华冠
陆一
陈虞杰
孙邓辉
陶杰
机构
南京航空航天大学材料科学与技术学院
南京工程学院材料工程学院
出处
《航空制造技术》
2017年第16期58-63,共6页
基金
江苏省自然科学基金项目(BK20170790)
中国博士后科学基金项目(2017M611758)
+2 种基金
2017年产学研合作项目江苏省轨道交通车辆门系统重点实验室开放课题(KN17-13)
中央高校基本科研业务费专项资金项目(NZ2013307)
江苏高校优势学科建设工程资助项目
文摘
以机翼前缘典型件为成型目标,研究了玻璃纤维-铝锂合金超混杂复合层板(NFMLs)大曲率构件的自成形工艺。研究发现,自成形工艺可实现NFMLs机翼前缘等大曲率构件的成型,贴膜度高、厚度均匀性好、无显著分层缺陷、成型过程未形成较大的残余应力,为超混杂复合材料在飞机机翼蒙皮结构中的应用研究提供参考。
关键词
超混杂复合层板
铝锂合金
自成形
机翼前缘
Keywords
Super hybrid laminate
Aluminum-lithium alloy
Self-forming
Leading edge component
分类号
V262 [航空宇航科学与技术—航空宇航制造工程]
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职称材料
题名
椎弓根钉治疗胸腰椎爆裂性骨折47例
被引量:
3
5
作者
姜良花
机构
山东省临沂市中医院骨一科
出处
《中国中西医结合外科杂志》
CAS
2012年第3期292-293,共2页
文摘
目的:探讨经后路短节段椎弓根钉非融合内固定联合椎体自成形治疗胸腰椎爆裂性骨折的有效性。方法:对47例胸腰椎爆裂性骨折患者应用后路椎板小开窗,通过足形椎体打平器将骨块复位并塌陷,短节段椎弓根钉非融合内固定,术后佩戴腰围支具活动,术后10-15个月取出钉棒内固定系统。结果:47例椎体高度与正常椎体高度比值、Cobb角、椎管占位率及神经脊髓损伤按Frankel分级,术后及1.5年后随访,与术前相比差异有统计学意义(P〈0.05)。结论:胸腰椎爆裂性骨折行短节段椎弓根钉非融合内固定,既能最大程度保留后柱结构,又能直接对骨折复位,减少椎体内空隙,加强了椎体强度,从而减少伤椎高度的丢失,有效防止腰椎后突畸形的发生。
关键词
胸腰椎爆裂性骨折
椎板开窗
椎体
自成形
分类号
R683.2 [医药卫生—骨科学]
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职称材料
题名
切顶留巷动压对非采煤侧帮的影响研究
6
作者
惠兴田
刘一凡
胡梓俊
机构
西安科技大学建筑与土木工程学院
出处
《煤炭技术》
CAS
2018年第8期4-6,共3页
文摘
采用Y形留巷和Z形自成巷2种沿空留巷方式对比,研究非采煤侧帮变形的影响因素。基于理论力学,研究了非采煤侧帮受力破坏特点,建立了切顶留巷下非采煤侧帮的力学模型,理论分析了动压对非采煤侧帮的影响。
关键词
切顶留巷
非采煤侧帮
Y
形
留巷
Z
形
自成
巷
回采动压
Keywords
gob-side entry retaining formed by roof cut
non-coal mining side
Y-shape retaining gateway
Z-shape self-contained lane
mining dynamic pressure
分类号
TD323 [矿业工程—矿井建设]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
自成形硅表面微结构:表面特征及潜在应用
李佳城
刘爽
伍胜兰
刘永
钟智勇
《电子科技大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2024
0
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职称材料
2
自成形微细电极制备技术研究
周林
王宝瑞
《电加工与模具》
2006
2
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职称材料
3
皮秒激光扫描硅材料微孔自成形行为及机理研究
李鑫
张彤
季凌飞
张犁天
《激光与光电子学进展》
CSCD
北大核心
2022
2
原文传递
4
玻璃纤维-铝锂合金层板机翼前缘结构的成型工艺研究
华小歌
李华冠
陆一
陈虞杰
孙邓辉
陶杰
《航空制造技术》
2017
2
下载PDF
职称材料
5
椎弓根钉治疗胸腰椎爆裂性骨折47例
姜良花
《中国中西医结合外科杂志》
CAS
2012
3
下载PDF
职称材料
6
切顶留巷动压对非采煤侧帮的影响研究
惠兴田
刘一凡
胡梓俊
《煤炭技术》
CAS
2018
0
下载PDF
职称材料
已选择
0
条
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