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真空蒸发法制备自支撑多层靶
被引量:
1
1
作者
尹建华
王秀英
《原子能科学技术》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1999年第4期353-356,共4页
采用真空蒸发技术制备核物理实验用 C+ Pb+ Ni、 C+ Pb+ Co、 C+ Pb+ S+ Al多层自支撑靶膜。实验选定以1 % 肥皂液作解离剂,视不同蒸发元素,选择形状与尺寸适宜的蒸发舟。 C、 Pb、 Ni、 Co、...
采用真空蒸发技术制备核物理实验用 C+ Pb+ Ni、 C+ Pb+ Co、 C+ Pb+ S+ Al多层自支撑靶膜。实验选定以1 % 肥皂液作解离剂,视不同蒸发元素,选择形状与尺寸适宜的蒸发舟。 C、 Pb、 Ni、 Co、 S、 Al膜的质量厚度分别为10~15、约100、30~60、30~60、30~50 和 10 μg·cm - 2。制备出的膜层平展,薄而均匀,无针孔。
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关键词
自支撑多层靶
真空蒸发
薄膜
核物理实验
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职称材料
题名
真空蒸发法制备自支撑多层靶
被引量:
1
1
作者
尹建华
王秀英
机构
中国科学院近代物理研究所
出处
《原子能科学技术》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1999年第4期353-356,共4页
文摘
采用真空蒸发技术制备核物理实验用 C+ Pb+ Ni、 C+ Pb+ Co、 C+ Pb+ S+ Al多层自支撑靶膜。实验选定以1 % 肥皂液作解离剂,视不同蒸发元素,选择形状与尺寸适宜的蒸发舟。 C、 Pb、 Ni、 Co、 S、 Al膜的质量厚度分别为10~15、约100、30~60、30~60、30~50 和 10 μg·cm - 2。制备出的膜层平展,薄而均匀,无针孔。
关键词
自支撑多层靶
真空蒸发
薄膜
核物理实验
Keywords
Self supporting multilayer target Vacuum evaporation C+Pb+Ni C+Pb+Co C+Pb+S+Al
分类号
O484.1 [理学—固体物理]
TL503.4 [核科学技术—核技术及应用]
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题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
真空蒸发法制备自支撑多层靶
尹建华
王秀英
《原子能科学技术》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1999
1
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