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真空蒸发法制备自支撑多层靶 被引量:1
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作者 尹建华 王秀英 《原子能科学技术》 EI CAS CSCD 北大核心 1999年第4期353-356,共4页
采用真空蒸发技术制备核物理实验用 C+ Pb+ Ni、 C+ Pb+ Co、 C+ Pb+ S+ Al多层自支撑靶膜。实验选定以1 % 肥皂液作解离剂,视不同蒸发元素,选择形状与尺寸适宜的蒸发舟。 C、 Pb、 Ni、 Co、... 采用真空蒸发技术制备核物理实验用 C+ Pb+ Ni、 C+ Pb+ Co、 C+ Pb+ S+ Al多层自支撑靶膜。实验选定以1 % 肥皂液作解离剂,视不同蒸发元素,选择形状与尺寸适宜的蒸发舟。 C、 Pb、 Ni、 Co、 S、 Al膜的质量厚度分别为10~15、约100、30~60、30~60、30~50 和 10 μg·cm - 2。制备出的膜层平展,薄而均匀,无针孔。 展开更多
关键词 自支撑多层靶 真空蒸发 薄膜 核物理实验
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