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Be靶制备技术研究 被引量:2
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作者 许国基 杜英辉 王瑞兰 《原子能科学技术》 EI CAS CSCD 2002年第4期399-400,共2页
介绍了Be靶制备的电阻加热法、滚轧法、静电振动法、离心沉淀法、聚集束溅射法等。结果显示 :电阻加热和滚轧制备自支撑Be靶的厚度范围分别为 2 0~ 970 μg/cm2 和 3 8~ 2 0 μm。
关键词 制备技术 自支撑be靶 聚焦束溅射 滚轧 退火 电阻加热 静电振动 离心沉淀
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