自聚焦伺服型激光测微仪的控制系统研究与开发

介绍了自聚焦伺服型激光测微仪的控制系统的硬件电路接口及监控软件的设计与实现技术。通过实验验证了控制系统的软、硬件设计符合测微仪的测量要求。

高精度激光伺服测微新方法的研究

以激光自聚焦伺服原理为基础研究高精度的测微新方法，具有分辨率高，结构轻巧，动态响应快，非接触测量及价格低廉等优点，能够广泛方便地应用在各种位移、振动、变形及产品质量的尺寸检测等领域，测量精度可稳定达到０．１μｍ。