自锐式斜齿柔性砂带轮及其磨抛机理

提出自制的柔性砂带轮，它是用于零件曲表面磨削抛光的新型磨具．该柔性砂带轮的优点是：磨抛噪声低；砂带利用率高；更换周期长。本文给出了该磨具的结构原理，并对其磨抛机理进行了分析探讨．

自锐式组合砂轮的应用体会

磨削套圈和滚子时,采用不同材质、硬度和粒度的组合砂轮,磨削过程中不需要修整,砂轮依靠其良好的切削和自锐性能,使工件达到很高的几何精度,并能降低表面粗糙度值,这就是自锐式组合砂轮的特点。

原子力显微镜探针批量制备工艺分析

为实现低成本原子力显微镜(AFM)探针的制备,开展了基于6英寸(1英寸=2.54 cm)绝缘衬底上的硅(SOI)的AFM探针制备方法的研究,实验分析了采用KOH湿法腐蚀纳米硅针尖的时间对针尖形貌的影响,给出了纳米硅针尖的缺陷类型以及产生缺陷针尖的原因,同时针对深硅干法刻蚀过程中散热不均的现象,提出采用导热系数高的黏接材料来改善散热问题。实验结果表明,基于6英寸SOI制备的AFM探针悬臂梁厚度偏差为±0.5μm,成品率大于90%,对制备的自锐式AFM探针与商用AFM探针进行了测试对比,自制AFM探针的扫描质量达到了当前商用探针的水平,满足形貌表征的需求。