非致冷探测器阵列的读出方式

介绍了热辐射计型非致冷探测器阵列的几种读出方式,对它们的工作原理及特点进行了分析,为非致冷探测器阵列,以及光导焦平面探测器阵列的研制提供参考。

致冷探测器在空空导弹中的应用

热力学的三个热电效应，奠定了近代高效红外探测器致冷技术的理论基础。本文对多种致冷型与非致冷型空空导弹的性能进行了比较，阐述了致冷探测器在空空导弹中的应用，以及对高技术武器装备发展的深刻影响。

红外致冷探测器附加噪声的抑制方法

红外致冷探测器是红外空空导弹导引头的核心部件,若存在气动噪声和电气干扰噪声便可使整个系统失效。通过分析、试验,找到了噪声抑制方法,采取具体措施保证了生产的顺利进行。

非致冷探测器空间应用的开发

欧洲航天局（ESA）研发了一种用于水星飞行任务的多功能航天器。BepiColombo包括两个航天器，其中之一（水星人造卫星平台（MPO））将包含遥感仪器对行星进行测量，测量波长覆盖远红外到吖射线波段。水星热红外分光计（MERTIS）测量水星7～14txm范围的发射光谱以获取表面矿物成分。这将使用非致冷红外焦平面阵列（红外焦平面）作为分光计核心部件。在这种结构中，已经开发出的红外焦平面阵列为160x120的微辐射热测量仪阵列，像素间距为35μm。该传感器由可产生短的热时间常数和非常低的噪声等效温差（NETD）的无定形硅制成。该探测器运作于空间环境的事实引起了人们特别关注。本文将介绍在性能、辐射和力学环境方面满足MERTIS要求的具体进展情况。

基于VO_x非致冷探测器的红外地球敏感器探讨

近年来VOx非致冷红外探测器的研制取得了较快发展,由于在波长14~16μm范围内有较高的响应率,使其应用于红外地球敏感器成为可能.介绍了基于VOx非致冷红外探测器的红外地球敏感器,对主流VOx探测器的MEMS微桥结构和产品性能参数进行比较,并分别讨论了使用面阵器件和线阵器件的红外地球敏感器应用.

基于VO_2薄膜非致冷红外探测器性能研究

用微电子工艺制备了 V O2 溅射薄膜红外探测器 ,在 2 96 K的环境温度中测试了该探测器对 8- 12 μm红外辐射的黑体响应率和噪声电压 ,结果显示该探测器在调制频率为 30 Hz时可以实现探测率 D*=1.89× 10 8cm H z1 /2W- 1 ,热时间常数 τ=0 .0

非致冷红外探测器用氧化钒多晶薄膜的制备

采用离子束溅射镀膜和氧化工艺在Si(110 )和石英衬底上制备了用于非致冷红外探测器阵列热敏材料的混合相氧化钒多晶薄膜 .扫描电子显微镜 (SEM)照片显示 :薄膜表面呈针状晶粒状 ,而且薄膜表面光滑、致密 ,均匀性好 .测试结果表明 :氧化钒薄膜的方块电阻和电阻温度系数 (TCR)在 2 0℃分别为 5 0KΩ和 - 0 .0 2 1K-1.

新型非致冷红外探测器

介绍了近年来出现的各种新型非致冷红外探测器,对不同探测器的基本工作原理、器件结构、制作工艺以及性能的优缺点进行了讨论和对比,并对非致冷红外探测器的改进方向进行了预测。

微悬臂梁非致冷红外探测器的研制

介绍了一种基于标准硅工艺的微悬臂梁非致冷红外探测器的设计和制作.由于氮化硅和铝的热膨胀系数相差很大,用这两种材料的薄膜做成的双材料微悬臂梁在红外辐射下温度升高并发生弯曲,微悬臂梁和衬底形成一个可变电容,通过检测电容的变化来反映微悬臂梁的弯曲,从而可以探测红外辐射的情况.利用外部测试设备对单元探测器进行测试表明,该微悬臂梁对红外辐射有很高的响应.

优化非致冷红外探测器设计的理论模型

文章建立了一种改进非致冷红外探测器性能的数学模型 ,分析了探测器结构和噪声对于噪声等效温差NETD的影响 ,并给出了NETD与探测器温度TD,背景温度TB,热导G以及探测单元面积A等因素的关系曲线 ,指出了探测器性能改进和优化的途径。

一种非致冷红外探测器真空封装的研究

介绍了一种非致冷红外探测器杜瓦组件的封装设计;对探测器件在真空封装过程中的关键工艺技术进行了比较深入的分析;阐述了影响组件真空寿命及可靠性的因素以及解决措施。

像元间距为25μm、160×120元无热电制冷器的非致冷非晶硅探测器(英文)

介绍用非晶硅微型辐射热量计制成的160×120元非致冷红外焦平面阵列的特点和性能,该阵列集成在一个无铅芯片载体封装中,像素间距为25μm,适合于大批量生产。25μm像元结构得益于较小的热时间常数,该技术使我们能够设计出更高的热隔离性能,从而能以35μm技术为基础开发出25μm技术。通过采用新的像素设计和更进一步推动设计方法,在没有采用复杂昂贵的双层结构的前提下,保持了较高填充因子。从读出集成电路结构、封装、可操作性和光电性能入手对该探测器进行了介绍。为该探测器设计了一种新型集成读出电路。可以通过串行链接对增益、图像翻转和积分时间等高级功能进行操控,降低电气对接的数量。研制的小型无铅芯片载体封装便于大规模生产探测器,主要用途为便携式摄像机或头盔摄像机。

红外吸收层结构与采用该结构的非致冷红外探测器

本发明提供一种红外吸收层结构及采用该结构的非致冷红外探测器。该结构为一种A／4共振吸收结构，它是由支承层、探测层、保护层以及介质层构成的。为了提高非致冷红外探测器的性能，对于红外吸收层来说，能以高效率吸收红外辐射是非常重要的。本发明的特点是，带有统一吸收层的红外探测器在其吸收结构内使用了一层红外探测膜、一层器件保护层、一层用于隔热结构的支承层和一层介质层等。

用CMOS工艺制作的超低成本非致冷红外探测器列阵

非致冷红外探测器由于具有成本低、重量轻、功率低、光谱响应宽以及工作时间长等优点，在红外成像应用领域已受到了广泛关注。非致冷红外探测技术在各种民间应用和驾驶员夜间视觉增强、安全相机、热分析、探矿以及火情探测中具有很多潜在的用途。

非致冷红外探测器能使红外摄像机变得更便宜

美国劳伦斯(LAWRENCE)公司中规模集成电路(MSI)实验室的工程师们正在研制一种非致冷的红外探测器,以便能够生产大量廉价的红外摄像机。这种新的探测器可以渗透到诸如视觉辅助系统等的市场,用于汽车监控装置和工业控制装置。

非致冷InAsSb光电探测器的应用

一般说来,红外光电探测器均工作于3μm～5μm(中波红外)或者8μm～14μm波长范围.这一方面是因为这两个波长范围与人们进行远距离探测的两个大气透射窗口相对应,另一方面则是因为大气在5μm～8μm(长波红外)波长范围的吸收非常好.目前有一种对该波长特别合适的应用,即美国海军的"近炸引信应用".这项应用需要利用短距离探测技术来躲避对抗,特别是对探测器有干扰作用的照明弹或其它明亮的红外光源.图1所示为这项应用的环境场景.

用于微测辐射热探测器的纳米VO_2薄膜

用离子束溅射和后退火工艺制备了一种适用于微测辐射热探测器热敏材料的新型纳米结构二氧化钒(VO_2)薄膜材料,薄膜具有平均粒度8 nm,在半导体相区具有电阻温度系数(TCR)为-7%/K,性能高于传统的VO_2材料(平均粒度为1-2μm,在半导体相区具有TCR约为-2%/K).基于纳米结构的VO_2薄膜材料的器件比基于传统的VO_2薄膜材料具有更高的性能,而两者的噪声基本相当.

Si基微绝热结构PLZT厚膜红外探测器阵列

介绍了一种制备非致冷红外探测器阵列的新方法,此方法避免了使用传统的微电子机械系统(MEMS)工艺来加工微桥.研究了如何在Si基片表面形成ZnO膜层网格状结构的方法.ZnO纳米粉末和PLZT厚膜采用改进的溶胶-凝胶法制备.表征了ZnO纳米粉末的表面形貌和PLZT厚膜的相组成,测量了PLZT-8/53/47厚膜的铁电性和热释电性.结果表明,ZnO纳米粉末的粒径为40-70 nm,PLZT-8/53/47厚膜为纯钙钛矿相,其主结晶方向与底电极一致.PLZT-8/53/47厚膜具有优良的热释电性能,其热释电系数p为8.21×10-8C/(cm2·℃),而矫顽场较小,25℃时+Ec为32.0 kV/cm,40℃时+Ec仅为27.8 kV/cm.

红外探测器和焦平面列阵

一、系统1.可用于多种应用的高级焦平面列阵(特邀论文)(L. P.Chen,美国雷锡恩红外经营公司)2.基于焦平面列阵技术的先进激光敏感接收器概念(特邀论文)(P.L.Hacobson等,美国洛斯阿拉莫 期国家实验室)