致密非晶碳氢薄膜的结构

利用完全抑制网络结构（ＦＣＮ）模拟计算氢化非晶碳（ａ－Ｃ：Ｈ）膜的组成．形成致密 ａ－Ｃ：Ｈ膜的条件是 Ｈ、ｓｐ２Ｃ和ｓｐ３Ｃ应在其三元相图中的一个三角形区域内．实验数据表明，模拟结果与实验结果吻合得很好．在 ａ－Ｃ：Ｈ中存在氢、四面体碳、乙烯、苯环和双苯等结构，它们的相对含量在三角形区域内变化。该理论模拟对薄膜光学间隙的实验分析给出了很好的解释．