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石墨舟印EL发黑异常原因及解决措施
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作者 王贵梅 王德昌 +2 位作者 张福庆 张永 王玉肖 《中国科技纵横》 2022年第22期75-78,共4页
本文基于目前晶硅SE-PERC电池生产工艺,针对管式PECVD石墨舟印EL发黑产生的原因验证分析及提出解决措施。研究结果表明,石墨舟清洗机、烘干机杂质尤其是金属杂质污染石墨舟,石墨舟长时间呆滞暴露在环境中吸附杂质和水分,石墨舟工艺过程... 本文基于目前晶硅SE-PERC电池生产工艺,针对管式PECVD石墨舟印EL发黑产生的原因验证分析及提出解决措施。研究结果表明,石墨舟清洗机、烘干机杂质尤其是金属杂质污染石墨舟,石墨舟长时间呆滞暴露在环境中吸附杂质和水分,石墨舟工艺过程中出现真空泵突然停止粉尘喷舟,均会导致电池片石墨舟印EL发黑异常的产生;识别这些因素并制订相应管控措施,可以避免产生石墨舟印EL发黑,提升产品良率。 展开更多
关键词 SE-PERC 管式PECVD 石墨舟印 EL发黑
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不同镀膜流程对多晶硅背钝化效率和EL的影响
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作者 江坚 陈刚 +4 位作者 张斌 张剑峰 王仕鹏 黄海燕 陆川 《太阳能》 2018年第3期48-49,53,共3页
介绍了一种通过调整背钝化工艺流程改善多晶硅太阳电池缺陷的方法,通过将正背背流程改为背正背流程,电池片EL舟印的问题可以解决,同时还可提升电池片效率。
关键词 PECVD 背正背流程 舟印 电池片效率 背钝化 EL ALD
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