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集成式HgCdTe红外双色探测器列阵 被引量:10
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作者 叶振华 吴俊 +4 位作者 胡晓宁 巫艳 王建新 丁瑞军 何力 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2004年第3期193-196,共4页
首次报道了集成中波 1/中波 2 (MW1/MW2 )的HgCdTe红外双色探测器的材料生长、器件制备及其性能 .采用分子束外延 (MBE)技术 ,生长了p p P N型Hg1-xCdxTe多层异质结材料 .通过B+ 注入、台面腐蚀、爬坡金属化、台面侧向钝化及互连等工艺 ... 首次报道了集成中波 1/中波 2 (MW1/MW2 )的HgCdTe红外双色探测器的材料生长、器件制备及其性能 .采用分子束外延 (MBE)技术 ,生长了p p P N型Hg1-xCdxTe多层异质结材料 .通过B+ 注入、台面腐蚀、爬坡金属化、台面侧向钝化及互连等工艺 ,得到了 80元的原理型HgCdTe红外双色探测器 .纵向上背靠背的 2个光电二极管分别有电极输出 ,确保了空间上同步和时间上同时的探测 ,并能独立地选择最佳工作偏压 .它适于常规的背照射工作方式 ,且有大的空间填充因子 .在液氮温度下 ,2个波段的光电二极管截止波长λc 分别为 3.0 4 μm和 5 .74 μm ,对应的R0 A值为 3.85× 10 5Ωcm2 和 3.0 2× 10 2 Ωcm2 .测得MW1、MW2的峰值探测率Dλp 分别为 1.5 7× 10 11cmHz1/2 /W和 5 .6 3×10 10 cmHz1/2 /W .得到 2个波段的光谱响应 ,且MW2光电二极管的光谱串音为 0 .4 6 % ,MW1光电二极管的光谱串音为 6 .34% . 展开更多
关键词 红外双色探测器 光谱响应 峰值探测 光谱串音 汞镉碲材料
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一种基于AlGaN和石墨烯的紫外-红外双色探测器 被引量:3
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作者 刘翌寒 曹伟 +5 位作者 李绍娟 李洋 孙世闯 付凯 陈长清 张宝顺 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第10期1167-1170,共4页
通过MOCVD和CVD生长技术,利用高Al组分Al Ga N和单层石墨烯材料进行纵向集成,成功制备了日盲紫外-近红外双色探测器。在工作温度为室温、调制频率为209 Hz以及工作电压分别为10 V和5 V的工作条件下,所制备的双色探测器在紫外波段263 nm... 通过MOCVD和CVD生长技术,利用高Al组分Al Ga N和单层石墨烯材料进行纵向集成,成功制备了日盲紫外-近红外双色探测器。在工作温度为室温、调制频率为209 Hz以及工作电压分别为10 V和5 V的工作条件下,所制备的双色探测器在紫外波段263 nm处的响应度为5.9 m A/W,在近红外波段1.15μm处的响应度为0.67 m A/W,并且探测器的响应度均随着工作电压的增加而增大。 展开更多
关键词 ALGAN 石墨烯 紫外-红外双色探测器
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多色探测器
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作者 《红外》 CAS 2004年第9期15-15,共1页
美国专利US6750075 (2004年6月15日授权) 现有的红外成像系统大多是单色探测器,也就是说,它们是设计用来覆盖红外光谱中的一个区域的。单色探测器适合于许多应用,但不适用于精确温度测定和对未知比辐射率的目标的可靠识别。
关键词 红外成像系统 色探测器 异质结构 光电响应
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非晶Si/SiC—三色探测器材料
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作者 义仡 《电子材料快报》 1995年第8期5-5,共1页
关键词 Si/Sie 色探测器材料 非晶半导体
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中波双色光伏型HgCdTe红外探测器模拟研究 被引量:17
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作者 徐向晏 叶振华 +1 位作者 李志锋 陆卫 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2007年第3期164-169,共6页
基于二维数值模型,对光伏型中波(MW1/MW2)HgCdTe双色红外探测器作了模拟计算,器件采用n-p-p-p-n结构、同时工作模式.计算了双色器件光谱响应及量子效率,重点分析了两个波段间的信号串音问题,以及高组分势垒层的作用.模拟结果显示,MW1(中... 基于二维数值模型,对光伏型中波(MW1/MW2)HgCdTe双色红外探测器作了模拟计算,器件采用n-p-p-p-n结构、同时工作模式.计算了双色器件光谱响应及量子效率,重点分析了两个波段间的信号串音问题,以及高组分势垒层的作用.模拟结果显示,MW1(中波1,波长较短)对MW2(中波2,波长较长)的串音是辐射透过MW1区在MW2区中吸收引起的,串音与光吸收比近似成正比,而载流子扩散效应可以忽略不计.高组分阻挡层对载流子扩散引起的串音有显著的抑制作用,如果没有势垒层,载流子扩散引起的串音十分明显,甚至成为串音的主导因素.对于60×60μm2探测单元MW1和MW2的结电容大约为1.75pF/pixel. 展开更多
关键词 碲镉汞 中波双红外探测器 光谱响应 串音 结电容
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基于锑化物二类超晶格的多色红外探测器研究进展 被引量:3
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作者 蒋洞微 徐应强 +1 位作者 王国伟 牛智川 《人工晶体学报》 EI CAS 北大核心 2020年第12期2211-2220,共10页
近年来InAs/GaSb二类超晶格红外探测器在材料晶体结构生长、器件结构设计与成像应用方面取得了飞速发展。尤其在多色红外探测方面,二类超晶格材料以其具备的带隙可调、暗电流小、量子效率高、材料均匀性高,以及成本低等优越性能,使其逐... 近年来InAs/GaSb二类超晶格红外探测器在材料晶体结构生长、器件结构设计与成像应用方面取得了飞速发展。尤其在多色红外探测方面,二类超晶格材料以其具备的带隙可调、暗电流小、量子效率高、材料均匀性高,以及成本低等优越性能,使其逐步成为第三代红外焦平面探测器的优选材料。本文阐述了锑化物窄带隙半导体研究中心的锑化物多色红外探测器研究进展。本团队成功实现了低噪声、高量子效率以及低光学串扰的短/中、短/长、中/长、长/长、中/长/甚长波等多种高性能多色红外探测器研制。 展开更多
关键词 INAS/GASB 二类超晶格 红外探测器 量子效率 光学串扰
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多色红外探测器
7
作者 《红外》 CAS 2001年第5期11-11,共1页
双色红外探测器可同时以两种不同的波长探测红外辐射,因而它允许用户更准确地计算目标位置或测量气体浓度。就这一点而论,双色红外探测器在军事、环境监测、医学诊断以及工业过程控制等应用中,都是很有用的。
关键词 红外探测器 光电二极管 红外辐射
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操作高响应率热色红外探测器的方法
8
作者 《红外》 CAS 2001年第10期45-45,共1页
本发明提供一种高响应率热色红外探测器,它以热色模式工作,其热响应率要比以半导体模式工作的红外探测器高得多。该探测器用氧化钒(VO_2)材料制作,当它用于焦平面列阵或单个探测器时,它能显示高的响应率(V/W)和低的噪声等效温差(NEΔT)。
关键词 高响应率热红外探测器 操作方法 氧化钒材料 VO2
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三色量子阱红外光电探测器焦平面列阵
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作者 高国龙 《红外》 CAS 2002年第3期34-35,共2页
美国喷气推进实验室最近提出了一种可同时以三个不同红外波段敏感图像的量子阱红外光电探测器(QWIP)焦平面列阵。这种量子阱红外光电探测器焦平面列阵图像敏感器目前正在研制之中,它们将被用来测量图像中的温度分布,其潜在的应用包括科... 美国喷气推进实验室最近提出了一种可同时以三个不同红外波段敏感图像的量子阱红外光电探测器(QWIP)焦平面列阵。这种量子阱红外光电探测器焦平面列阵图像敏感器目前正在研制之中,它们将被用来测量图像中的温度分布,其潜在的应用包括科学应用(如,地球和其它行星的遥感)和军事应用(如,根据温度区分目标和其它物体)。 展开更多
关键词 量子阱红外光电探测器 焦平面列阵 QWIP 多量子阱结构
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用于中波/长波/甚长波红外探测的三色量子阱红外光电探测器
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作者 高国龙 《红外》 CAS 2003年第1期40-41,共2页
在美国陆军研究实验室的支持下,美国佛罗里达大学和美国弹道导弹防御组织等单位的研究人员联合设计了一种适用于中波红外/长波红外/甚长波红外探测的三叠层三色量子阱红外光电探测器。 红外焦平面列阵技术是许多红外应用如外大气层寻的... 在美国陆军研究实验室的支持下,美国佛罗里达大学和美国弹道导弹防御组织等单位的研究人员联合设计了一种适用于中波红外/长波红外/甚长波红外探测的三叠层三色量子阱红外光电探测器。 红外焦平面列阵技术是许多红外应用如外大气层寻的器、天基监视敏感器以及卫星测绘等所必需的。 展开更多
关键词 红外焦平面列阵 能带图 暗电流特性 红外成像 中波 长波 甚长波 红外探测 量子阱红外光电探测器
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三色量子阱红外光电探测器焦平面列阵
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作者 《红外》 CAS 2003年第5期33-33,共1页
三色量子阱红外光电探测器能使目标识别系统在存在第三种未知参数的情况下准确获取两个目标的温
关键词 量子阱红外光电探测器 焦平面列阵 目标识别 半导体材料 CaAs/A1CaAs材料体系 砷化镓
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碲镉汞多色红外焦平面探测芯片 被引量:2
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作者 杨建荣 《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 2005年第11期804-807,共4页
文章从芯片结构、晶格匹配和PN结性能三个方面对碲镉汞多色焦平面探测芯片技术进行了探讨,结果显示在三种主要的双色探测芯片结构中,单电极和环孔工艺的双色芯片技术相对比较成熟,高难度的刻蚀技术以及所引起的表面反型是制约双电极或... 文章从芯片结构、晶格匹配和PN结性能三个方面对碲镉汞多色焦平面探测芯片技术进行了探讨,结果显示在三种主要的双色探测芯片结构中,单电极和环孔工艺的双色芯片技术相对比较成熟,高难度的刻蚀技术以及所引起的表面反型是制约双电极或多电极多色探测芯片技术发展的主要因素,而环孔技术在发展多色探测芯片方面则有其独到之处,随着探测波段的增加,其工艺难度并没有质的变化。多色探测芯片不同外延层之间的晶格失配以及和Si基衬底之间热失配也是必须加以考虑和解决的一个问题,在现阶段,Si基直接外延、大面积碲锌镉材料和ZnCdTe/Si复合衬底技术并举仍将是明智的选择。在PN结方面,二代焦平面的成结技术在多色器件的宽带结上尚未能够实现,刻蚀反型和深台面侧面钝化的困难依然存在,这些均制约着器件性能的提高,另外,多色芯片的结构和表面加工工艺也影响着探测芯片的光通量利用率和量子效率。 展开更多
关键词 HGCDTE 色探测器 红外焦平面
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红外探测器材料(SPIE Vol.4454)
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作者 高国龙 《红外》 CAS 2003年第8期46-47,共2页
一、HgCdTe的外延与分子束外延生长 1.用MOVPE生长在(211)B CdTe/Si衬底上的HgCdTe膜层的特性(S.H.Suh等,韩国科技研究所)
关键词 红外探测器材料 空间应用 红外探测器 HGCDTE材料 分子束外延生长 量子阱红外探测器
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中波HgCdTe双色红外探测器优化模拟计算 被引量:3
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作者 徐向晏 叶振华 +1 位作者 李志锋 陆卫 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2007年第5期2882-2889,共8页
针对光伏型中波HgCdTe双色红外探测器作了优化模拟计算,器件采用典型n-p-p-p-n结构和同时工作模式,建立的二维模型考虑了辐射复合、俄歇复合和Shockley-Read-Hall(SRH)复合三种复合机理,以及深能级辅助隧穿和带间直接隧穿效应,载流子穿... 针对光伏型中波HgCdTe双色红外探测器作了优化模拟计算,器件采用典型n-p-p-p-n结构和同时工作模式,建立的二维模型考虑了辐射复合、俄歇复合和Shockley-Read-Hall(SRH)复合三种复合机理,以及深能级辅助隧穿和带间直接隧穿效应,载流子穿过阻挡层势垒的隧道效应采用传递矩阵法计算.分析了双色器件光谱响应随吸收区SRH复合少子(电子)寿命的变化关系,以及串音与阻挡层组分的关系.模拟结果显示,随吸收区少子寿命变短,量子效率迅速下降;为了使器件有较高的量子效率,HgCdTe材料的SRH复合电子寿命应该至少在10ns以上.随阻挡层组分增大,势垒增高,串音迅速减小,大约在阻挡层组分差为0.03时下降到光学串音决定的稳定值,得出了抑制电学串音,阻挡层组分差的临界值为0.03. 展开更多
关键词 HgCdTe中波双红外探测器 光谱响应 光谱串音 少子寿命
原文传递
双结型半导体硅色敏电池 被引量:1
15
作者 张忠奎 龚全宝 《上海半导体》 1990年第2期18-22,共5页
关键词 敏电池 半导体 色探测器
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Scanning Measurement Method of Dispersion Mini-spot by Quadrant Photodetector
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作者 DANG Li-ping LIU Jun-hua TANG Shu-gang 《Semiconductor Photonics and Technology》 CAS 2006年第1期61-66,共6页
Quadrant photodetector is a new type position detector, which has already been applied to many fields such as measurement, target tracking, control, laser collimation, guidance, etc. System performance is related to l... Quadrant photodetector is a new type position detector, which has already been applied to many fields such as measurement, target tracking, control, laser collimation, guidance, etc. System performance is related to laser spot area received by the quadrant photodetector. The optimum linear output signal of system is gotten only when the size of laser dispersion spot is well-proportioned to the detector photosensitive area. A method to measure the mini-spot received by detector and to adjust it in real time is presented, which is based on the quadrant geometrical and optical structure, making use of tilting mirror scanning, the sequence output signal of detector is gotten, then measurement model is built with rate of signal change as characteristic variable, the radius of the laser dispersion spot and adjustable value of dispersion are calculated. The experiment result shows that the maximum error is 0.58μm in measurement range of 0.5mm±0.1mm. 展开更多
关键词 Quadrant photodetector Dispersion spot Defocusing amount
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