高纯八氟环丁烷的制备及其在芯片制造中的应用

高纯八氟环丁烷是一种化学性质稳定且环保的氟碳类气体,在集成电路制造领域具有广泛应用。对八氟环丁烷的物化性质、制备方法及纯化方法进行了详细说明,介绍了高纯八氟环丁烷在集成电路制造领域的前瞻应用。