几种芯片废水处理技术的探讨

随着国内芯片制造业的飞速发展,芯片生产过程中产生的废水也是各企业所必须面临的一个问题。文章结合工程实例,简要介绍了芯片废水中污染物分类及来源,着重探讨了含氨废水、含氟废水、研磨废水和酸碱废水的处理工艺、以期为芯片废水处理的同仁提供参考。

关于芯片废水处理技术的探讨

随着科学技术的发展,芯片走进了人们的生活,并得到广泛应用,如计算机芯片、生物芯片等,给社会生产带来了便利。与此同时,生产芯片产生的废水对环境造成了一定影响,处理芯片废水的目的是保护环境和人体健康。为提高芯片废水处理效果,本文通过查阅文献以及实地调研,对芯片废水处理技术进行了研究,首先概述芯片废水的特点,然后分析了芯片废水处理的工艺设计和流程,最后提出处理技术的优化措施,以供相关人员参考。

芯片生产废水处理技术探讨

通过实地调研,结合工程经验,采用比较分析的方法,就芯片生产废水中典型的含氨废水、含氟废水、研磨废水和酸碱废水的处理分别给出了较优的处理工艺流程,即浓氨吹脱—两段沉淀—三级酸碱中和处理工艺,其处理效果较好,将含氟废水与CMP研磨废水混合处理可节省投资。同时,介绍了设备选型中应注意的问题。

某芯片企业废水再生回用于绿化灌溉的风险因子识别研究

工业废水的再生回用对减轻水环境污染、改善水资源匮乏等具有重要意义,因此近年来受到了国家有关部门的高度重视。绿化灌溉是再生水回用的重要途径之一,对照绿地灌溉水质相关标准,检测分析了某芯片企业废水深度处理工程的来水及达标排放尾水中的重要污染物,筛选识别其尾水回用的潜在风险因子。结果表明,该芯片企业废水经深度处理再生后,尾水的基本控制指标、重点关注指标包括F^(-)、钠吸收率(SAR)、重金属类等均符合绿地灌溉水质国家标准。但尾水中Cl^(-)含量超过规定限值,同时Na^(+)、Ca^(2+)浓度相对较高,在绿化灌溉回用中可能对土壤环境、植物生长产生影响,需进一步研究其风险管控手段和防控措施。

三星半导体公司闪存芯片生产废水处理工程

根据三星半导体有限公司闪存芯片项目生产废水的水质水量特点,采用"分质预处理-混凝-水解酸化-IC厌氧反应器-A/O-MBR-芬顿氧化-混凝"新型组合工艺进行处理,详细介绍了分质预处理和深度处理阶段的工艺设计、工艺流程和主要构筑物的设计参数。运行结果表明,该组合工艺处理效果稳定,最终出水水质均远优于设计排放标准。