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范德堡多晶硅热导率的测试结构
被引量:
2
1
作者
戚丽娜
许高斌
黄庆安
《固体电子学研究与进展》
CAS
CSCD
北大核心
2005年第4期569-573,共5页
在O.M.Paul等研究的范德堡热导率测试结构的基础上,提出了一种改进结构,利用一组测试结构来测得多晶硅薄膜的热导率。在十字型结构中一个含有多晶硅薄膜,而另一个不含有多晶硅薄膜,根据建立的热学模型,可以获取多晶硅薄膜的热导率。用...
在O.M.Paul等研究的范德堡热导率测试结构的基础上,提出了一种改进结构,利用一组测试结构来测得多晶硅薄膜的热导率。在十字型结构中一个含有多晶硅薄膜,而另一个不含有多晶硅薄膜,根据建立的热学模型,可以获取多晶硅薄膜的热导率。用有限元分析软件ANSYS进行了模拟分析,分析表明模拟值与实验值能较好地吻合,且辐射散热是基本可以忽略的,从而验证了模型建立的正确性,说明该方法能够实现对多晶硅薄膜的测量,且具有较高的测试精确度。
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关键词
范德堡测试结构
热导率
多晶硅薄膜
热响应
十字型
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职称材料
题名
范德堡多晶硅热导率的测试结构
被引量:
2
1
作者
戚丽娜
许高斌
黄庆安
机构
东南大学MEMS教育部重点实验室
出处
《固体电子学研究与进展》
CAS
CSCD
北大核心
2005年第4期569-573,共5页
基金
国家863计划(2003AA404010)资助项目
文摘
在O.M.Paul等研究的范德堡热导率测试结构的基础上,提出了一种改进结构,利用一组测试结构来测得多晶硅薄膜的热导率。在十字型结构中一个含有多晶硅薄膜,而另一个不含有多晶硅薄膜,根据建立的热学模型,可以获取多晶硅薄膜的热导率。用有限元分析软件ANSYS进行了模拟分析,分析表明模拟值与实验值能较好地吻合,且辐射散热是基本可以忽略的,从而验证了模型建立的正确性,说明该方法能够实现对多晶硅薄膜的测量,且具有较高的测试精确度。
关键词
范德堡测试结构
热导率
多晶硅薄膜
热响应
十字型
Keywords
Van Der Pauw test structure
conductivity
polysilicon film
thermal response
Greek cross
分类号
TN402 [电子电信—微电子学与固体电子学]
TN405 [电子电信—微电子学与固体电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
范德堡多晶硅热导率的测试结构
戚丽娜
许高斌
黄庆安
《固体电子学研究与进展》
CAS
CSCD
北大核心
2005
2
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