应用聚焦光束的莫尔偏折技术测量离量、厚度和曲率半径

本文描述了聚焦光束的莫尔偏折技术的三个重要应用:1)测量离焦量和试验物体表面的显微分析;2)测量平板玻璃的厚度;3)测量凹面或凸面物体的曲率半径。该方法设备简单,灵敏度可调节。