菲涅耳微透镜芯模表面形貌的检测及加工误差分析

采用扫描白光干涉法对菲涅耳微透镜芯模表面浮雕结构进行了检测,并对元件表面微观形貌进行了三维重建。根据其表面形貌数据,引入幅度参数表征法,分别计算出横向线宽误差以及样品的系统刻蚀深度误差和随机刻蚀深度误差等纵向加工偏差。通过表面高度分布的偏斜度、表面高度分布的峭度等参数获得了有关微芯模表面误差和缺陷的量化信息。实验研究表明,扫描白光干涉法能精确定量化表征微芯模表面形貌特征,这对探索适用于新型微光学器件表面三维形貌误差的无损检测评价方法具有实际意义。

位相型菲涅耳微透镜列阵在3f系统中的实用性研究

位相型菲涅耳微透镜列阵在３ｆ系统中的实用性研究陈高峰，郭晴，王君，王汝笠（中国科学院上海技术物理研究所，上海２０００８３）实时信号处理是当今信息科学里一个十分重要的应用基础研究课题，光电混合技术是实时图像处理是最有效的途径之一，光相关器是一种成熟的模...

集成菲涅耳微透镜的准直微光源

已研制成功无须外置任何准直透镜的超级准直微光源.它是在目前最小的激光器内将激光二极管(LD)或发光二极管(LED)之类的光源与准直微透镜集成.为达到结构紧凑,得到细 而高质量准直光束的目的,在世界上首次用短焦菲涅耳微透镜(MFL)作为准直光学元件.光源为LD时的出射光束在50mA的驱动电流下有高于3mW的功率,光束直径仅1.3mm。

基于菲涅耳微透镜的光学加速度传感器原理研究

目前航空业惯性导航系统中广泛采用的加速度传感器存在抗电磁干扰(EMI)和电磁冲击(EMP)能力差等缺陷,针对此提出了一种基于菲涅耳衍射微透镜的光学加速度传感器,它能够有效地解决上述问题。该传感器的传感原理是把一个反光膜平行地置于微透镜的后方,根据微透镜前方汇聚点处光强的变化来敏感加速度的大小。通过F resnel-Kirchhoff衍射公式详细推导了传感器的光学原理,并且对光纤的偏移对光强的影响进行了计算机模拟分析。结果表明:光纤接收的光强对反光膜的位置具有纳米级的灵敏度,并且对光纤沿微透镜焦平面方向的偏移极其敏感,当此偏移超过2μm,光强就会下降至不足理想情况下的50%。验证性实验结果表明这种传感器的原理是正确的。

菲涅耳微透镜列阵衍射效率的测试与分析

归纳了目前二元位相型菲涅耳微透镜列阵衍射效率测试中所用各种衍射效率的不同定义，提出规范定义的建议。并设计了测量衍射效率的系统，方法简单易行，适于测试具有微小单元尺寸的菲涅耳微透镜列阵的衍射效率。

菲涅耳微透镜列阵衍射效率的测试

提出了一种测试菲涅耳微透镜列阵衍射效率的有效方法，采用Ｈｅ－Ｎｅ激光器作为测试光源，利用计算机辅助测试构成了一个衍射效率测试光路系统，对测试原理进行了分析，该方法具有简便易行的特点，适于测试具有微小单元尺寸、周期密排的二元微光学元件的衍射效率。

微菲涅耳透镜列阵制作

本文介绍用制版的方法制作的微菲涅耳透镜列阵及其成像实验。每个微菲耳透镜直径为1mm,对于0.633μm 波长焦距为5mm,最小光栅周期为6.4μm,列阵面积为20×20mm^2。

基于衍射微透镜的光学加速度传感器设计

提出了一种基于菲涅耳衍射微透镜的新型光学加速度传感器,它能够解决导航系统中惯性传感器普遍存在的抗电磁干扰和电磁冲击能力差等缺陷。其传感原理是把一个反光膜平行地置于衍射微透镜的后方,加速度的变化会改变反光膜的位置,根据微透镜前方会聚点处光强的变化,感知加速度的大小。介绍了传感器及其动力学系统的工作原理,并对衍射微透镜和动力学系统的微弹性机械结构进行了设计和加工,最后对传感器的性能和误差进行了分析。原理验证性实验的结果表明这种新型光学加速度传感器的原理正确,并且结构简单,灵敏度高。

光计算、光计算机及器件

TP381 94063995光互连模块中位相型菲涅耳微透镜列阵的研制与应用=Fabrication and application of phaseFresnel microlens arrays in module of opticalin interconnection[刊,中]/罗风光,曹明翠,赵向军,李洪谱,艾军(华中理工大学激光技术国家重点实验室.湖北,武汉(430074))//光电子·激光.-1994,5(2).-82-86分析了位相型菲涅耳透镜的设计原理。