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蒸发卷绕镀膜机几个关键技术问题的研究 被引量:5
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作者 夏正勋 《真空与低温》 2001年第3期130-135,143,共7页
针对蒸发卷绕镀膜机真空室内的压力变化、卷绕速度、送铝丝速度和薄膜沉积厚度之间的关系等关键技术问题 ,通过理论分析、设计计算 ,结合实践经验 。
关键词 镀膜 抽气特征 设计 计算 真空室 压力 蒸发卷绕镀膜机 蒸发材料 膜厚
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