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蒸发卷绕镀膜机几个关键技术问题的研究
被引量:
5
1
作者
夏正勋
《真空与低温》
2001年第3期130-135,143,共7页
针对蒸发卷绕镀膜机真空室内的压力变化、卷绕速度、送铝丝速度和薄膜沉积厚度之间的关系等关键技术问题 ,通过理论分析、设计计算 ,结合实践经验 。
关键词
卷
绕
镀膜
抽气特征
设计
计算
真空室
压力
蒸发卷绕镀膜机
蒸发
材料
膜厚
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职称材料
题名
蒸发卷绕镀膜机几个关键技术问题的研究
被引量:
5
1
作者
夏正勋
机构
兰州真龙真空设备公司
出处
《真空与低温》
2001年第3期130-135,143,共7页
文摘
针对蒸发卷绕镀膜机真空室内的压力变化、卷绕速度、送铝丝速度和薄膜沉积厚度之间的关系等关键技术问题 ,通过理论分析、设计计算 ,结合实践经验 。
关键词
卷
绕
镀膜
抽气特征
设计
计算
真空室
压力
蒸发卷绕镀膜机
蒸发
材料
膜厚
Keywords
rolling coating
pumping charicteristics
design and calculation.
分类号
TB43 [一般工业技术]
TB75 [一般工业技术—真空技术]
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作者
出处
发文年
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1
蒸发卷绕镀膜机几个关键技术问题的研究
夏正勋
《真空与低温》
2001
5
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