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电弧等离子射流蒸发反应法制备碳化硅基超微粉
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作者 黄荣芳 林成福 《粉末冶金技术》 CAS CSCD 北大核心 1992年第3期178-181,共4页
分析了SiC+C、SiC+Si等超微颗粒的形貌、粒度大小及分布和晶体结构。讨论了等离子弧电流I_T和I_J对超微粉粒度的影响。
关键词 等离子射流 蒸发反应法 超微粉
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Si衬底上用反应蒸发法制备AlN单晶薄膜 被引量:2
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作者 张伟 张仕国 袁骏 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 1997年第8期568-572,共5页
本文首次报道了在硅衬底上用反应蒸发法沉积AlN薄膜的技术.实验发现在衬底温度为470~850℃的范围内均可得到单晶薄膜,X射线衍射分析表明,薄膜只在2θ=58.9°处出现一个衍射峰,其生长晶面为(1120),是AlN的解理面.在较高的... 本文首次报道了在硅衬底上用反应蒸发法沉积AlN薄膜的技术.实验发现在衬底温度为470~850℃的范围内均可得到单晶薄膜,X射线衍射分析表明,薄膜只在2θ=58.9°处出现一个衍射峰,其生长晶面为(1120),是AlN的解理面.在较高的生长温度下,生长速率较低,得到的AlN薄膜具有更窄的衍射半峰宽(0.5°)、Al和N更趋向于化学计量比结合.从扫描电镜测试看出,薄膜表面平整光滑、无裂纹,说明用反应蒸发法外延生长的薄膜表面状况优良.最后,NH3对Si表面的原位清洗也作了一些讨论. 展开更多
关键词 半导体 硅衬底 反应蒸发 AIN 单晶薄膜
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氧化压等沉积参数对反应蒸发法制备的ITO膜性能的影响
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作者 程珊华 宁兆元 《薄膜科学与技术》 1994年第4期335-339,共5页
关键词 ITO膜 反应蒸发 真空镀膜机
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增强型反应蒸发制备Al2O3薄膜
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作者 陈冠华 金懋昌 《四川真空》 1990年第1期26-26,19,共2页
关键词 AL2O3 薄膜 反应蒸发 制备
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真空反应蒸发法制备ZnO透明导电薄膜 被引量:13
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作者 马瑾 李淑英 《山东大学学报(自然科学版)》 CSCD 1994年第2期230-234,共5页
以ZnCl2作为蒸发源,采用真空反应蒸发技术制备出具有高透过率和电导率的ZnO薄膜.对制备薄膜的结构,电学和光学特性进行了测量.
关键词 薄膜 电阻率 氧化锌 反应蒸发
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MgZnO和ZnO晶体薄膜紫外发光特性比较 被引量:4
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作者 陈奶波 邱东江 +3 位作者 吴惠桢 张寒洁 鲍世宁 何丕模 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2003年第5期349-352,共4页
用电子束蒸发反应沉积在Si(111)衬底上低温生长了立方MgZnO薄膜和高度C -轴取向的ZnO薄膜 .X 射线光电子能谱 (XPS)结果表明 ,立方MgZnO薄膜中的Mg含量比靶源中的高 .紫外光致荧光谱 (UVPL)测试显示 ,与ZnO相比MgZnO的荧光峰从 393nm蓝... 用电子束蒸发反应沉积在Si(111)衬底上低温生长了立方MgZnO薄膜和高度C -轴取向的ZnO薄膜 .X 射线光电子能谱 (XPS)结果表明 ,立方MgZnO薄膜中的Mg含量比靶源中的高 .紫外光致荧光谱 (UVPL)测试显示 ,与ZnO相比MgZnO的荧光峰从 393nm蓝移至 373nm ,这可能与MgZnO的带隙变宽有关 .对ZnO薄膜的研究还发现 ,生长过程中充O2 与否对ZnO发光特性的影响显著 ,不充O2 时样品的紫外荧光峰较之充O2 展开更多
关键词 紫外光致荧光谱 X射线光电子能谱 晶体薄膜 氧化锌 电子束蒸发反应沉积 光谱蓝移 光谱红移 带隙
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在塑料基底上低温沉积ITO透明导电膜 被引量:1
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作者 程珊华 李育峰 宁兆元 《苏州大学学报(自然科学版)》 CAS 1996年第3期34-36,共3页
本文叙述了使用等离子体辅助反应蒸发法在有机玻璃基底上制备透明导电ITO膜的研究结果。成功地在室温的条件下,制备出了高透明的、满足防静电要求的产品。
关键词 等离子体 氧化铟锡 导电膜 塑料基底 反应蒸发
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Zn1-xCoxO晶体薄膜结构和铁磁特性
8
作者 余萍 熊狂炜 邱东江 《南昌大学学报(理科版)》 CAS 北大核心 2008年第1期42-45,共4页
利用电子束反应蒸发法(REBE)在Si和石英玻璃衬底上生长Zn1-xCoxO晶体薄膜,衬底温度分别为250、350和500℃。对晶体的微结构特性进行研究,X-射线衍射(XRD)结果表明Zn1-xCoxO晶体薄膜在250℃有高度的c-轴取向;而且随着温度升高,出现更明... 利用电子束反应蒸发法(REBE)在Si和石英玻璃衬底上生长Zn1-xCoxO晶体薄膜,衬底温度分别为250、350和500℃。对晶体的微结构特性进行研究,X-射线衍射(XRD)结果表明Zn1-xCoxO晶体薄膜在250℃有高度的c-轴取向;而且随着温度升高,出现更明显的多晶峰且峰值强度越来越强。紫外-可见光(UV-VIS)测量结果说明Co离子虽然部分替代Zn离子进入ZnO晶格里面,但并没有改变ZnO的纤锌矿结构。利用物理特性测量系统(PPMS)测得Zn1-xCoxO晶体薄膜M-H和M-T特性曲线来研究Zn1-xCoxO晶体薄膜的铁磁特性,结果显示Zn1-xCoxO薄膜是铁磁性的,而且居里温度在室温以上,这种特性使得Zn1-xCoxO有可能在自旋器件中得到广泛应用。 展开更多
关键词 电子束反应蒸发 Zn1-xCoxO薄膜 铁磁特性
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Sn_(1-x)(In_(1-y)Cu_y)_xO薄膜的合成
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作者 郭玲玲 郑光裕 张治国 《物理实验》 2006年第9期12-16,共5页
利用真空反应蒸发技术,在氧分压约为8.5×10-2Pa、衬底温度为400℃条件下蒸发高纯度的铟、锡和铜,在玻璃衬底上制备出Sn1-x(In1-yCuy)xO薄膜.研究了蒸发源材料质量比不同的样品的薄膜结构、透过率、薄膜的方块电阻和电阻率与温度的... 利用真空反应蒸发技术,在氧分压约为8.5×10-2Pa、衬底温度为400℃条件下蒸发高纯度的铟、锡和铜,在玻璃衬底上制备出Sn1-x(In1-yCuy)xO薄膜.研究了蒸发源材料质量比不同的样品的薄膜结构、透过率、薄膜的方块电阻和电阻率与温度的关系.实验结果表明,Sn1-x(In1-yCuy)xO透明导电薄膜具有优良的光电特性,而且制备出的Sn1-x(In1-yCuy)xO薄膜中In的含量大大减少,可以成为ITO薄膜的潜在替代材料. 展开更多
关键词 Sn1-x(In1-yCuy)xO薄膜 反应蒸发 XRD衍射图 温度特性 透过率
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Ordered mesoporous Cu-ZnO-Al_2O_3 adsorbents for reactive adsorption desulfurization with enhanced sulfur saturation capacity 被引量:6
10
作者 YaqingLiua YuanPanb +2 位作者 HongyingWanga YunqiLiua ChenguangLiua 《Chinese Journal of Catalysis》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2018年第9期1543-1551,共9页
To enhance sulfur adsorption and reactive activity, ordered mesoporous Cu-ZnO-Al2O3 adsorbents were prepared by a novel one-pot evaporation-induced self-assembly strategy using P123 as a structure-directing agent and ... To enhance sulfur adsorption and reactive activity, ordered mesoporous Cu-ZnO-Al2O3 adsorbents were prepared by a novel one-pot evaporation-induced self-assembly strategy using P123 as a structure-directing agent and ethanol as the solvent for reactive adsorption desulfurization. The metal oxide precursor molecules around P123 micellized, and self-assembly simultaneously occurred during evaporation from an ethanol solution at 60 °C, leading to the formation of the p6 mm hexagonal symmetry mesoporous structure. Characterization results prove that the Cu-ZnO-Al2O3 adsorbents possess an ordered mesoporous structure with high thermal stability, large surface area(386–226 m2/g), large pore volume(0.60–0.46 cm3/g), and good dispersion of ZnO and Cu, which is beneficial for transforming S-compounds to ZnO. The sulfur saturation capacity of the ordered-mesoporous-structure Cu-ZnO-Al2O3 adsorbents is larger(49.4 mg/g) than that of the unordered mesoporous structure(13.5 mg/g). 展开更多
关键词 Cu‐ZnO‐Al2O3Or deredmesoporous structure One‐potevaporation‐induced self‐assembly Reactiveads orptiondesul furization Sulfursaturation capacity
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