蒸发台电子枪组件故障的检查与维修

分析了蒸发台电子枪组件故障的原因，从维修的角度重点讨论了电子枪组件故障检查和排除的方法。

SC-4500电子束蒸发台高压电源电路原理及故障分析

电子束蒸发台是制作半导体、光电器件的必要设备，对器件的性能有很大的影响。本文就美国ＳＣ－４５００电子束蒸发台关键部份高压电源原理及故障现象进行阐述和分析，并给出该部分故障检测、维修方法流程图。

用双源蒸发台制作混合电路用的Cr·SiO薄膜电阻器

本文简要介绍使用钟罩型真空镀膜机和双源蒸发工艺制作高质量Cr·SiO薄膜电阻器的探索与实践,结果表明,这是一种基于原有设备的具有工艺简单稳定、流程短而效率较高的实用新工艺,完全可以替代原有工艺而投入生产。

蒸发台e型电子枪的工作原理与维修技术

真空镀膜设备是半导体工艺重要工艺设备,蒸发源是镀膜设备的核心部件,以e型电子枪蒸发源为例,介绍了该电子枪的定义、结构、工作原理、使用方法、以及日常维护。从维修的角度,重点总结了e型电子枪的各类故障,给出了处理方法和步骤。

改造蒸发台行星盘系统提升工艺可靠性

目标设备蒸发台无法对行星盘实际转速做实时监控,工艺过程中晶圆产品转速处于失控状态,有很大的生产可靠性风险。针对这一问题对行星盘的转速监测系统做优化改造,实现了行星盘实际转速在设备电脑端的实时测量和实时控制。在行星盘转速出现异常时,设备能够立即停止工艺,等待人员处理,有效保证了晶圆产品的生产安全。同时,通过改造对载片行星盘转速直接测量控制,保证了工艺参数的精准度。