厚度极化薄圆片压电换能器的瞬态响应

针对以往声学测量中更多考虑声波传播情况,忽略激励信号与换能器能量转换对测量声信号影响的问题,对不同信号激励下换能器的瞬态响应进行了研究。联立薄圆片压电换能器的运动方程与压电方程,建立了换能器的机-电等效电路。利用留数定理推导出了厚度极化薄圆片压电换能器的电-声/声-电冲激响应和传输函数。基于傅里叶变换以及叠加定理建立了并行传输网络模型,用于描述换能器的电-声和声-电转换过程。仿真结果表明,正弦信号激励下换能器的输出结果为一个静止到稳态正弦振动的子波,门选正弦信号激励下换能器的输出信号呈周期性振荡,换能器的输出信号受激励信号与换能器能量转换的影响。

小规格薄圆片的冲压工艺分析

分析了小规格薄圆片零件在大规格圆片机上生产的难点,通过模具结构、圆片机辅助装置参数优化调整等措施,保证了小规格薄圆片零件的平面度与毛刺高度处于合格范围,其研究开发经验具有实际指导意义。

用于大批量制造环境的薄晶圆处理——传送和加工技术(英文)

在半导体生产商不断推进器件和圆片厚度薄型化的形势下,为满足与新产品和加工工艺有关的生产工艺挑战,必须采用更新的分裂方法。新面世的产品射频识别标签,更完善的IC卡以及集成度更高的存储器件,随着更新的从逻辑到存储器及图像传感器各种产品先进封装技术的来临,需要越来越薄基片。对此提出了一种基于临时键合以及新颖的粘接剂技术的适合于薄圆片传送和处理加工的完全解决方案(设备,材料以及工艺过程)。这种方法与25μm以下厚度圆片以及在原有设备没有变更的现有生产线进行薄圆片产品发展路线图加工工艺相适应。