薄层电阻测试Mapping技术

利用改进的范德堡法微区薄层电阻测试探针技术对n-Si片上的硼扩散图形进行薄层电阻的测量，并用发度表示其分布，可得到薄层电阻的不均匀度及平均值．这种所谓Mapping技术更有利于评价材料质量．

IC工艺流程检测

随着IC电路技术的快速发展，其设计制造技术也越来越复杂。对如何检测、监控工艺制造过程（包括设计）中的物理、工艺、器件等特性、参数，是本文所介绍的主要内容。