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透明薄膜/基底系统激光超声波的有限元数值研究 被引量:3
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作者 王纪俊 沈中华 +3 位作者 倪晓武 许伯强 关建飞 陆建 《激光技术》 CAS CSCD 北大核心 2006年第2期177-180,共4页
在分析了网格大小和时间步长这两个重要参数和求解稳定性的基础上,采用有限元方法建立了透明薄膜/基底系统的热传导方程和热弹性方程的有限元模型。考虑了薄膜和基底的物理参数随温度的变化,得到了激光照射透明薄膜/基底系统温度场空间... 在分析了网格大小和时间步长这两个重要参数和求解稳定性的基础上,采用有限元方法建立了透明薄膜/基底系统的热传导方程和热弹性方程的有限元模型。考虑了薄膜和基底的物理参数随温度的变化,得到了激光照射透明薄膜/基底系统温度场空间分布,由此计算出由热弹效应激发的超声对心波形。结果表明,透明薄膜厚度的增加,会影响到激光激发的对心超声波形;当薄膜厚度增大时,对心超声波形中的双极脉冲波形振幅变大,波形宽度加大。该方法为透明薄膜/基底系统的定量检测和无损评价提供了理论依据。 展开更多
关键词 激光物理 超声 有限元 薄膜/基底系统
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内嵌弹性区和结合力模型在薄膜/基底界面断裂中的应用 被引量:1
2
作者 李然 余寿文 《复合材料学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第3期98-104,共7页
薄膜 /基底结构是微电子学和材料科学中广泛应用的典型结构。由于加工工艺中材料力学、热学性能失配等原因导致的薄膜中出现的残余应力 ,是界面裂纹的萌生和扩展的重要原因。采用三参数 (Γ0 ,σ/ σy,t)的修正的断裂过程区结合力模... 薄膜 /基底结构是微电子学和材料科学中广泛应用的典型结构。由于加工工艺中材料力学、热学性能失配等原因导致的薄膜中出现的残余应力 ,是界面裂纹的萌生和扩展的重要原因。采用三参数 (Γ0 ,σ/ σy,t)的修正的断裂过程区结合力模型 ,讨论了在塑性氛围下裂尖解理断裂的过程 ,裂尖应力分布 ,裂尖形貌和表征裂纹尖端断裂过程区特征参数对断裂过程的影响 ,并应用到均质金属薄膜 展开更多
关键词 内嵌弹性区 结合力模型 薄膜/基底结构 界面继裂 材料科学 复合材料 残余应力
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韧性薄膜/基底体系锥形压痕的有限元分析 被引量:4
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作者 胡和平 廖艳果 周益春 《南华大学学报(自然科学版)》 2009年第4期56-61,共6页
使用量纲分析和有限元法探讨了圆锥性压头压入韧性薄膜/韧性基底体系的力学响应.根据量纲分析,我们建立了压入响应和薄膜及基底的力学参量的无量纲关系.通过对压痕曲线的几个关键变量研究,发现最大压痕荷载取决于压入的深度、薄膜和基... 使用量纲分析和有限元法探讨了圆锥性压头压入韧性薄膜/韧性基底体系的力学响应.根据量纲分析,我们建立了压入响应和薄膜及基底的力学参量的无量纲关系.通过对压痕曲线的几个关键变量研究,发现最大压痕荷载取决于压入的深度、薄膜和基底的弹塑性性能,当压入适当深度时初始卸载斜率不受基底的屈服强度的影响.这些结论有利于深入研究韧性薄膜/韧性基底体系的压痕过程,提供了一种从锥形压痕试验中获得薄膜和基底的力学性能的方法. 展开更多
关键词 量纲分析 有限元法 锥形压痕 薄膜/基底体系
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表面热源作用下的薄膜/基底结构的应力分析 被引量:1
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作者 王明庆 《科技信息》 2013年第18期488-489,共2页
在固体力学领域,薄膜/基体结构的应力分析是一个经典的问题,有很多研究者对薄膜/基体结构的失配应力、曲率以及它们之间的关系进行了详尽的分析。本文给出了薄膜/基底结构在非均匀局部表面热载荷作用下的温度和应力分布的基本解,并得到... 在固体力学领域,薄膜/基体结构的应力分析是一个经典的问题,有很多研究者对薄膜/基体结构的失配应力、曲率以及它们之间的关系进行了详尽的分析。本文给出了薄膜/基底结构在非均匀局部表面热载荷作用下的温度和应力分布的基本解,并得到了广义Stoney公式来描述薄膜/基底结构在非均匀温度下的应力和曲率之间的关系。 展开更多
关键词 薄膜/基底结构 失配应力 非均匀热载荷 Stoney公式
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基于内聚力原理的薄膜/基底与微悬臂梁粗糙面间接触分析
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作者 黄书伟 黄健萌 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2016年第9期5-9,36,共6页
为提高射频微机电开关(RF MEMS SWITCH)的稳定性和可靠性,进一步深入了解接触式射频微机电开关接触特性。基于内聚力原理,运用ABAQUS 6.13建立了薄膜/基底与微悬臂梁间粗糙接触表面的接触-分离模型;动态分析加卸载过程中薄膜/基底接触... 为提高射频微机电开关(RF MEMS SWITCH)的稳定性和可靠性,进一步深入了解接触式射频微机电开关接触特性。基于内聚力原理,运用ABAQUS 6.13建立了薄膜/基底与微悬臂梁间粗糙接触表面的接触-分离模型;动态分析加卸载过程中薄膜/基底接触力、接触位移、破坏变形等变化规律。结果表明:在单次加卸载过程中,薄膜/基底与微悬臂梁间存在多次明显接触-分离现象,并伴随着极大的冲击力,而多次激烈冲击不利于系统的稳定接触性能。在接触过程中,薄膜承受了大部分外载,所受的vonMises等效应力值大于基底受到的von Mises等效应力值。界面层损伤规律表现为明显的阶梯型,且其突变点受冲击力影响。 展开更多
关键词 薄膜/基底 粗糙接触表面 接触-分离 内聚力模型 射频微机电开关
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温度场下波纹型薄膜基底结构的动态屈曲分析
6
作者 李文杰 毕皓皓 +2 位作者 张欣刚 姚文莉 王博 《动力学与控制学报》 2024年第10期77-83,共7页
基于薄膜/基底结构的柔性电子器件具有良好的可拉伸性和灵敏度,然而此类结构电子器件的动力学行为极易受到温度变化等激励的影响.因此,本文研究了温度场作用下薄膜/基底结构的动态屈曲问题.首先,基于Euler-Bernoulli梁理论,建立温度场... 基于薄膜/基底结构的柔性电子器件具有良好的可拉伸性和灵敏度,然而此类结构电子器件的动力学行为极易受到温度变化等激励的影响.因此,本文研究了温度场作用下薄膜/基底结构的动态屈曲问题.首先,基于Euler-Bernoulli梁理论,建立温度场作用下,薄膜/基底结构非线性振动的控制方程;其次,利用Galerkin截断方法和两类变量,将薄膜/基底结构非线性振动的控制方程导入Hamilton体系;最后,通过高精度、高数值稳定性的辛Runge-Kutta方法求解薄膜/基底结构的Hamilton方程,进而讨论温度变化量、阻尼系数等对薄膜/基底结构非线性动力学响应的影响.研究发现薄膜的温度变化量和预应变会影响薄膜的动力学行为.随着温度变化量的增加,薄膜/基底结构的振动频率增加,振幅减小.随着预应变的增加,结构的频率减小,振幅增加. 展开更多
关键词 薄膜/基底结构 EULER-BERNOULLI梁 辛Runge-Kutta方法 温度影响
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各向异性硬质薄膜/柔软基底系统的表面屈曲分析
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作者 陈智轩 国凤林 《表面技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2020年第10期276-285,共10页
目的研究有限尺寸矩形正交各向异性薄膜/基底系统在单向压缩下的表面屈曲。方法采用Kirchhoff-Love薄板理论和von Kármán板理论分析了临界应变和后屈曲形貌演化,考察了材料的各向异性性质及薄膜的几何参数对表面屈曲行为的影... 目的研究有限尺寸矩形正交各向异性薄膜/基底系统在单向压缩下的表面屈曲。方法采用Kirchhoff-Love薄板理论和von Kármán板理论分析了临界应变和后屈曲形貌演化,考察了材料的各向异性性质及薄膜的几何参数对表面屈曲行为的影响。结果一般来说,薄膜/基底系统的初始屈曲总是对应于多个波峰,在薄膜长度相同的条件下,薄膜宽度的改变可以影响波峰的数目。在薄膜的各向异性性质特别强烈的时候,薄膜/基底结构表现出一些显著的特点。其中之一是在外加应变超过临界应变之后,边缘幅值随着薄膜宽度的增大而增大,而中心幅值则急剧减小。结论中心和边缘幅值的差距越来越大,最终导致薄膜后屈曲形貌幅值在宽度方向上的巨大差异,并预示随着外加应变的逐渐增大,宽度方向可能演变出其他的屈曲模式。 展开更多
关键词 薄膜/基底结构 表面屈曲 正交各向异性薄膜 临界屈曲应变 屈曲形貌
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曲率测量技术在微机电系统薄膜残余应力测量中的应用 被引量:7
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作者 虞益挺 苑伟政 乔大勇 《机械工程学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第3期78-81,共4页
在比较曲率测量技术常用的Stoney公式及其修正式的基础上,利用有限元分析方法,建立薄膜/基底结构的有限元模型,给出一种薄膜残余应力的等效施加方法,从两个方面详细分析并对比这两个公式在微机电系统(Micro electromechanical systems,M... 在比较曲率测量技术常用的Stoney公式及其修正式的基础上,利用有限元分析方法,建立薄膜/基底结构的有限元模型,给出一种薄膜残余应力的等效施加方法,从两个方面详细分析并对比这两个公式在微机电系统(Micro electromechanical systems,MEMS)薄膜残余应力测量中的检测精度。仿真及分析结果表明,修正后的Stoney公式在很大程度上提高薄膜残余应力的测量精度,使曲率测量技术的适用范围得到较大扩展。但是当薄膜厚度接近于基底厚度或结构处于大变形状态下,修正式的计算精度也将受到较大影响,此时可以采用有限元分析方法来获得临界状态值,以提高残余应力的检测精度。同时,通过有限元分析,证实曲率测量技术应用中存在的另一个问题,即曲率的空间分布不均匀性现象。 展开更多
关键词 曲率测量技术 微机电系统 薄膜残余应力 薄膜/基底结构 有限元分析
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带有周期性裂纹薄膜热弹性场模拟研究 被引量:1
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作者 李明玮 张华 孙浩 《安徽理工大学学报(自然科学版)》 CAS 2016年第1期83-86,共4页
通过建立带有周期性裂纹缆索薄膜/基底二维平面模型,分析不同参数对薄膜热弹性场的影响。运用有限元软件分析了在温度荷载作用下不同薄膜/基底弹性模量比、热膨胀系数对薄膜位移场、应力场的影响并且与理论值进行对比。结果表明有限元... 通过建立带有周期性裂纹缆索薄膜/基底二维平面模型,分析不同参数对薄膜热弹性场的影响。运用有限元软件分析了在温度荷载作用下不同薄膜/基底弹性模量比、热膨胀系数对薄膜位移场、应力场的影响并且与理论值进行对比。结果表明有限元模拟结果与理论预测结果吻合良好,以上因素变化对薄膜轴向位移、轴向应力有明显的影响。薄膜表面位移和拉应力随着薄膜/基底弹性模量比与薄膜热膨胀系数的增大而增大,基底会对薄膜的热弹性场起到限制作用,边缘效应也会对薄膜热弹性场起到影响。理论值在薄膜与基底弹性失配较小或在薄膜边缘处不能准确的预测实际值。 展开更多
关键词 周期性裂纹 薄膜/基底 应力场 位移场
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Microstructures and magnetic properties of [SiO_2/FePt]_5/Ag thin films 被引量:2
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作者 范九萍 许小红 +2 位作者 江凤仙 田宝强 武海顺 《Journal of Central South University of Technology》 EI 2008年第1期11-14,共4页
[SiO2/FePt]5/Ag thin films were deposited by RF magnetron sputtering on the glass substrates and post annealing at 550 ℃ for 30 min in vacuum. Vibrating sample magnetometer and X-ray diffraction analyser were applied... [SiO2/FePt]5/Ag thin films were deposited by RF magnetron sputtering on the glass substrates and post annealing at 550 ℃ for 30 min in vacuum. Vibrating sample magnetometer and X-ray diffraction analyser were applied to study the magnetic properties and microstructures of the films. The results show that without Ag underlayer [SiO2/FePt]5 films deposited onto the glass are FCC disordered; with the addition of Ag underlayer [SiO]FePt]5/Ag films are changed into L10 and (111) mixed texture. The variation of the SiO2 nonmagnetic layer thickness in [SiO2/FePt]5/Ag films indicates that SiO2-doping plays an important role in improving the order parameter and the perpendicular magnetic anisotropy, and reducing the grain size and intergrain interactions. By controlling SiO2 thickness the highly perpendicular magnetic anisotropy can be obtained in the [SiO2 (0.6 nm)/FePt (3 nm)]5/Ag (50 nm) films and highly (001)-oriented films can be obtained in the [SiO2 (2 nm)/FePt (3 nm)]5/Ag (50 nm) films. 展开更多
关键词 [SiO2/FePt]5 multilayer films SiO2-doping Ag underlayer (001) orientation
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Pepsin nanofilm self—assembly on the positively charged poly (ethylene terephthalate)substrate 被引量:1
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作者 徐立恒 林贤福 《Journal of Zhejiang University Science》 CSCD 2002年第5期567-569,共3页
Pepsin was assembled on the surface of prepared poly(ethylene terephthalate)(PET-NH3^+) substrates.The composition and structure of the pepsin/PET-NH3^+ assembling films in different condition were characterized by X-... Pepsin was assembled on the surface of prepared poly(ethylene terephthalate)(PET-NH3^+) substrates.The composition and structure of the pepsin/PET-NH3^+ assembling films in different condition were characterized by X-ray photoelectron spectroscopy(XPS) and atomic force microscopy(AFM). 展开更多
关键词 PEPSIN Self assembly PET NH 3 + substrate XPS and AFM
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Investigation of luminescence from SiC nano-granule films on porous glass substrate
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作者 ZHEN Cong-mian ZHANG Jin-juan +3 位作者 WANG Xiao-qiang ZHANG Yong-jin PAN Cheng-fu HOU Deng-lu 《Optoelectronics Letters》 EI 2008年第6期429-432,共4页
SiC granule films were fabricated onto porous glass substrate by RF-magnetron sputtering. Photoluminescence (PL) measurements show that there are light emissions at three different wavelengths. Ultraviolet emission ... SiC granule films were fabricated onto porous glass substrate by RF-magnetron sputtering. Photoluminescence (PL) measurements show that there are light emissions at three different wavelengths. Ultraviolet emission peaked at 360 nm originated from the band-band transmission of SiC nanoparticles with relatively small size. The 370 nm light emission was due to the luminescence of the nano-skeletons of porous glass that was formed during the etching of the glass substrate. The blue emission at about 460 nm was associated with the recombination of the excited electron and O-deficient defects appeared at the interface between SiC nanoparticles and the porous glass. Furthermore, the optimal PL performance was obtained when SiC deposited time was I h and the glass substrate was etched for 20 min in the annealing sample (450 ℃). 展开更多
关键词 发光特征 SIC 纳米颗粒薄膜 多孔渗水玻璃
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Elastic stress fields caused by a dislocation in Ge_xSi_(1-x)/Si film-substrate system 被引量:1
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作者 WANG HuYi YU Yong YAN ShunPing 《Science China(Physics,Mechanics & Astronomy)》 SCIE EI CAS 2014年第6期1078-1089,共12页
The elastic stress fields caused by a dislocation in GexSil~ epitaxial layer on Si substrate are investigated in this work. Based on the previous results in an anisotropic bimaterial system, the image method is furthe... The elastic stress fields caused by a dislocation in GexSil~ epitaxial layer on Si substrate are investigated in this work. Based on the previous results in an anisotropic bimaterial system, the image method is further developed to determine the stress field of a dislocation in the film-substrate system under coupled condition. The film-substrate system is firstly transformed into a bimaterial system by distributing image dislocation densities on the position of the free surface. Then, the unknown image dis- location densities are solved by using boundary conditions, i.e., traction free conditions on the free surface. Numerical simula- tion focuses on the Ge0.1Si0.9/Si film-substrate system. The effects of layer thickness, position of the dislocation and crystallo- graphic orientation on the stress fields are discussed. Results reveal that both the stresses σxx,σxz at the free surface and the stress o-σx, σyy, σyz on the interface are influenced by the layer thickness, but the former is stronger. In contrast to the weak de- pendence of stress field on the crystallographic orientation the stress field was strongly affected by dislocation position. The stress fields both in the film-substrate system and bimaterial system are plotted. 展开更多
关键词 ELASTIC DISLOCATION ANISOTROPIC image method COUPLE
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