基于SOI的硅微谐振式压力传感器芯片制作

采用SOI硅片,基于MEMS技术,设计并加工了一种新型三明治结构的硅微谐振式压力传感器,根据传感器敏感单元的结构设计,制定了相应的制备工艺步骤,并且针对湿法深刻蚀过程中谐振子的刻蚀保护等问题,提出了一种基于氮化硅、氧化硅和氮化硅三层薄膜的保护工艺,实验表明,在采用三层薄膜保护工艺下进行湿法刻蚀10 h后,谐振子被完全释放,三层薄膜保护工艺对要求采用湿法刻蚀镂空释放可动结构具有较高的实用价值。最后对加工完成的谐振式压力传感器进行了初步的性能测试,结果表明,在标准大气压力下谐振子的固有频率为9.932 kHz,品质因数为34。

光电催化分解水Ⅲ-Ⅴ族半导体光电极薄膜保护策略

Ⅲ-Ⅴ族半导体材料(如GaAs、InP、GaP等)具有抗辐射性能高、温度特性好、耐高温等特点。相比于其他材料构建的光电催化体系,由这类半导体构成的光电极具有更高的太阳能吸收效率和光电转换效率。然而,大多数Ⅲ-Ⅴ族半导体在水溶液电解质中的物理化学性质很不稳定,导致太阳能驱动分解水性能衰减较快。基于此,本文综述了薄膜保护层在改善Ⅲ-Ⅴ族半导体光电极电化学稳定性方面的主要成就和研究现状,分析总结了获得稳定高效的光电反应界面和分解水效率的策略,探讨了导致材料衰减的原因和相应改善措施,最后展望了薄膜保护策略的未来发展前景。

代木仿瓷富丽板的制作工艺

现有的木质富丽板成本高、易潮、易燃、易脱层、易变形。现提供一种比木材性能更优良、且成本低、装饰效果又好的代木仿瓷富丽板制作工艺。 代木仿瓷富丽板是在氧化镁、滑石粉、短玻璃纤维丝中,以卤水为混合液组成基料,并以玻璃纤维布为骨架,以装饰纸为面层,以添加剂改善基料性能,组成高性能底板,然后用粘结剂粘结底板与面低,在纸面上涂上感光漆层,在漆层上再复盖塑料薄膜保护层,即构成复合材料板。

装饰材料的性能

防火装饰板:以专用纸基浸渍于改性的三聚氯胺树脂、酚醛树脂,经高温高压制成的塑料饰面板,化学性能稳定,花色品种多,仿木、仿石及各种颜色的饰面均有,表面有光洁、哑光、喷砂及仿皮革、仿石材,织物布纹等表而效果。可用胶类粘贴于木墙面、木墙裙、木隔栅、木屏风、木造型等木质基层的表面,